基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器.pdf

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1、第27卷第8期传感技术学报V01．27No．82014年8月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSAug．2014ACapacitiveHighTemperaturePressureSensorBasedonAluminaCeramicLIChen，ⅣQiulin’，删ⅣGWendong，晒Chenyang一，删Pinggang，LIYunzhiXIoNGJijunf1．ScienceandTechnologyonElectronicTestandMeasurementLaborator

2、y，NorthUniversityofChina，TaiYuan030051，China；2．KeyLaboratoryofInstrumentationScienceandDynamicMeasurement，MinistryofEducation，NorthUniversityofChina，TaiYuan030051，China；3．NationalKeyLaboratoryFundamentalScienceofMicro／Nano—DeviceandSystemTechnology，ChongqingUniv

3、ersity，Chongqing4O004_4，China)Abstract：Aluminaceramichaswideapplicationswithitsstablemechanicaltoughnessandhightemperaturerobust-ness．InthetechnicalbackgroundofLCresonancecircuit，thispaperpresentsacapacitancehightemperaturepressuresensorbasedonaluminaceramics．Af

4、ixedinductanceandavariedcapacitancewereintegratedontheceramicsubstratethroughthethickfilmintegratedtechnology．Thesensorwastestedinhightemperatureandpressureenvi—ronments，andtheexperimentalresultsshownthat：thesensorcancompletethepressuresitutestat600oCinrangeoflt

5、o5bar，andtherepeatabilityerror，hysteresiserrorandzerodriftofthesensorwereapproximately8．3％，5．05％and3．7％．respectively．Keywords：hightemperaturesensor；pressure；aluminaceramic；thickfilmintegratedtechnology；insitutestEEACC：7230Mdoi：10．3969／j．issn．1004—1699．2014．08．00

6、7基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器米李晨，谭秋林’，张文栋，薛晨阳，贾平岗，李运芝，熊继军，(1．中北大学电子测试技术重点实验室，太原030051；2．中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051；3．重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室，重庆400044)摘要：氧化铝陶瓷因其稳定的机械性能和高温鲁棒性得到了广泛的应用。文章以Lc谐振电路为技术背景，提出了一种基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器，并通过厚膜集成工艺技术将一个定值电感与一个可变电容集成在氧化铝陶瓷基板上实现了传感器的制备。

7、对传感器进行高温环境下的压力测试，实验结果表明：传感器能够完成600℃高温环境下1到5bar范围内压力的原位测试，且在600℃高温环境下传感器的重复性误差，迟滞性误差和零点漂移分别为8．3％，5．05％和3．7％。关键词：高温传感器；压力；氧化铝陶瓷；厚膜集成技术；原位测试中图分类号：TP212．1文献标识码：A文章编号：1004-1699(2014)08-1038-05实施瞬时、精确的测量推动着测试技术不断突器的最高工作温度只有450。【=⋯；在2013年，中破。至今为止，在极端恶劣环境下的压力参数的测北大学微米纳米

8、研究中心进一步提出了基于LTCC试技术仍然是一片空白，尤其是在发动机制备工业、和HTCC的陶瓷压力传感器，传感器的性能较之前航空发动机、先进工业技术等高温环境中，压力的精的陶瓷压力传感器有了较大的提高，但传感器不能确测量具有迫切的需求。尽管一些基于硅的压完成600℃高温环境下的压力测试¨。。J。另外，以力传感器可以工作于高温环境下