上半年晋升铨叙考试』【真空镀膜加工】试题库B.pdf

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1、SHZBG『2007上半年晉升銓敘考試』【真空鍍膜加工】試題庫B一﹒選擇題(75題)（理論）1.氣體分子通過與高速旋轉的渦輪葉片的碰撞作用，而被排向出氣口，再由前級泵抽除的泵是（C）。A.旋片真空泵B.滑閥泵C.分子泵D.擴散泵（安全）2.保養清潔真空系統時通常使用（Ｃ）爲佳。A.香蕉水B.甲醇C.酒精D.乙二醇（安全）3.防護板清潔要點下列（A）是錯誤的。A.敲擊除膜層B.清水洗淨C.酒精擦拭D.噴砂除膜層（理論）4.蒸發鍍膜與濺射鍍膜相比，其附著力（B）。A.更好B.要差一些C.差不多D.完全相同（理論）5.在

2、濺射鍍膜中常用來作入射離子的是（D）。A.銅離子B.鋁離子C.氫離子D.氬離子（理論）6.離子清洗(A)提高濺射薄膜的附著力。A.有助於B.無助於C.無法D.只能降低而不能（理論）7.對膜材的(C)是離子鍍膜的兩個不可缺少的環節。A.濺射和離化B.蒸發和濺射C.蒸發和離化D.烘乾和離化（理論）8.質流控制器的作用是控制(A)。A.制程氣體流量B.膜厚C.膜的透光率D.膜的硬度（理論）9.濺射粒子入射角爲(C)°時濺射率最大.A.20~30.B.40~50.C.60~80.D.80~100.（理論）10.DLC的漢語

3、名稱叫(B),它即可作工模具硬質塗層,也可作透明保護膜。A.金剛石膜B.類金剛石膜C.石墨D.仿金膜（理論）11.離子鍍膜的膜層密度（B）。A.低B.高C.比蒸發鍍低D.是真空鍍膜中最低的（設備）12.質流控制器的作用是用來控制制程氣體的(A)。A.流量.B.重量C壓力D.溫度（理論）13.蒸發高熔點金屬（如鉭、鎢）可採用（B）蒸發源。A.電阻式B.電子束C.分子束D.以上答案都不對（理論）14.靶中毒現象最容易發生在（B）中。A.中頻反應濺射鍍膜B.直流反應濺射鍍膜C.射頻反應濺射鍍膜D.以上答案都不對（理論）1

4、5.爲防止靶元件被濺射，靶元件必須（C）。A.與靶導通B.接上電壓表C.接地遮罩D.接上電流錶（設備）16.冰水機用之外部冷卻水塔，其散熱之風向應爲（A）。A.由下而上B.由上而下C.由左至右D.以上皆非（理論）17.常用RF濺射所用電源頻率爲(B)MHz.A.1B.13.56C.8.5D.19.56（理論）18.高於臨界溫度的氣態物質爲（C）。A.蒸氣B.固體C.氣體D.液體頁碼1/9SHZBG『2007上半年晉升銓敘考試』【真空鍍膜加工】試題庫B（理論）19.物理氣相沉積的英文簡稱是（B）。A.CVDB.PVD

5、C.SPTD.DVD（理論）20.靶材中雜質和表面氧化物對薄膜（B）。A.無污染B.有污染C.可提高純度D.可改善質量（理論）21.一般濺鍍使用真空度約在(B)Torr較佳。1-3-6-7A.10B.10C.10D.10（理論）22.(ABC)屬於常見的真空計A熱阻真空計B.熱偶真空計C.熱陰極電離真空計D.熱膠真空計（安全）23.更換靶材或維修時﹐須在機台停止濺射後（Ｂ）實施。A.5分鐘B.10分鐘C.60分鐘（理論）24.一般濺射鍍膜的沉積速率比蒸發鍍膜要（B）。A.高B.低C.差不多D.完全相同（理論）25.

6、真空鍍薄膜附著力不好時其薄膜（D）。A.刮不掉B.粘附力更強C.不會脫落D.會脫落或被刮掉（理論）26.離子鍍膜的繞射性(D)。A.後面的答案都不對B.很差C.不好D.較好（理論）27.CVD的反應産物除沉積物爲固態薄膜外，其餘産物必須是(D)。A.固體B.液體C.不易揮發的D.易揮發的（設備）28.質流控制器的作用是控制(A)。A.制程氣體流量B.膜厚C.膜的透光率D.膜的硬度（理論）29.常用RF濺射所用電源頻率爲(B)MHz.A.1B.13.56C.8.5D.19.56（理論）30.常用的簡易氣瓶檢漏方法是將

7、(B)滴於接頭或開關閥處,液體冒泡漲大,視爲漏氣。A.食鹽水B.肥皂水C.純水D.稀鹽酸（設備）31.偏壓濺射是在濺射過程中，將偏壓施加於（B）的濺射方式。A.擋板.B.基片.C.真空計.D.窗口（理論）32.工件連續從大氣壓經減壓段進入到一個或數個鍍膜室鍍膜，再經相應的壓力梯段增壓至大氣壓而離開設備的方式被稱爲（Ｂ）。A.不連續鍍膜B.連續鍍膜C.階梯鍍膜D.單體式鍍膜（理論）33.氣體分子之間有碰撞﹐且受周圍氣體分子的限制﹐存有磨擦力﹐氣流的方向與分子運動方向一致﹐這種氣流型態是（Ｂ）。A.過渡流B.黏滯流C.

8、分子流D.氣流（理論）34.物理氣相沉積的英文簡稱是（Ｂ）。A.CVDB.PVDC.SPTD.DVD（設備）35.真空中之傳動機構（如軸承），必要時可添加（C）作爲潤滑.A溶劑B.酒精C.真空油脂D.中性清潔劑（理論）36.RF電極與接地間絕緣電阻一般應在（C）以上爲佳A.3ΩB.3KΩC.1MΩD.100MΩ頁碼2/9SHZBG『2007上半年晉升銓敘考試