ZnSe薄膜电沉积法制备.pdf

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1、分类号：工QI!UDC：5446密级：垒珏编号：ZnSe薄膜电沉积法制备PREPARATIONOFZNSETHINFILMBYELECTRO-DEPOSITION学位援于单位压代码：长蠢理工盘茔(1Ql竖)学科专业名称段代码：挝￡4物理当化堂【Q8Q如11研宄方向：韭膜iii

2、!}指导救师：塞鹾教控论文起止时间：2c哑埋=丑ⅡQJ2申请学位级别：照±研究生：奎丛昱长春理工大学硕士学位论文原创性声本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文．{ZnSe薄膜电0C积法制备》是本人在指导教师的指导下，独立进行研宄工作所取得的成果。除文

3、中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成粜。对本文的研宄做出重要贡献的个人和集体．均己在文中咀明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。储豁厍坐星巡畦月面长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研宄所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机掏送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的

4、全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。艏揣勉狮猕解丝—!二年土月西]衄￡!年』月爿自㈣㈣㈨oo⋯⋯⋯8㈣．．斗⋯Ov㈣㈣^、

5、⋯洲洲^‘⋯⋯^、-m㈣Y摘要ZnSe是一种具有直接能隙(27eV)的II．vl族化台物半导体材料．由于在半导体器件的应用中具有相当大的潜能．如可以作为太阳能电池的窗口材料，特别是以化学气相沉积法、分子束外延法、热壁外延法等技术制备的ZnSe．已经被广泛研宄。近年来，以电沉积方法制备的化合物半导体多品薄膜能够很好的应用于太阳能电池中。在本论文

6、中，利用电解质(Se02=0001～0008M和ZnS04-0l～O8M)的电化学还原作用．在酸性溶液中(pH-23)将ZnSe薄膜沉积在1TO基体上。利用恒电位法来控制化学计量比，并讨论沉积条件(沉积电位、pH值、沉积温度、溶液中各成分浓度以及沉积时问)对其影响。研究证明．溶液中所含zn卜浓度要高(02M)，而Se02浓度要非常低(000IM)，沉积电位为一800mV．pH为2．3，沉积时间20分钟时，才可得到接近于Z“Se-I的化学计量比的ZnSe薄膜。关键词：ZnSe电沉积沉积参数太阳电池ABSTRACT7]ae

7、zincselenidelsaII，V【compoundsemiconductorwithadirectbandgapof27eV，whichhasbeenwidel、studiedbecauseofjtspotentialnselnsemiconductordmicesandasanindowmaterialforsolarcells，especiallybyCVD-MBEandHWETheelectrodepositionhasbeen而undtobeave“∞odmethod佃fabricatethinpolyc

8、rystallinefilmsofcompoundsemiconductorsforusinginphotovoltaicsoIarcellsInIbisimestigation，theformationofZnSehasbeenaccomplishedinanaqueousbath(pH=23)duringelectrochemicalreductionofanelectrot)aecontainingSe02(O00I～0008M)andZnS04(0I--08M1onanindiumtinoxideglasThe

9、potentiostaticmethodischosentoconlrolthestoiehiometrv、Thclnflttenceofgrov,lhcond(tioassuchasdepositioapotential．DH．depositiontemperatureandconcentrationofconstituentsofthesolutionmidcompositionareimestigatedV出ha、eshounthininordertoneItheZn／Seratiocloseto】lnthefi

10、lmthesolutionshouldcontainahigherconcentrationoftheprecursor．Zn(0．2M)．ofthelessnoblecortstituetttofthecompoundandavet、,lowconcenu越ionoftheprecursor．SeO：(000lM)oftheno