空气静压气浮平台特性的研究.pdf

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1、空气静压气浮平台特性的研究StudyonTheCharacteristicsOfAir-·bearingPlatform2011年3月IL■，I．■■r■，I■■●，：llIlL■，}一一，合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学硕士学位论文质量要求。主席：答辩委员会签名：(工作单位、职称)研究员合肥物质研究院委员：互永纵副教授矜≯副教授⋯．户黼教授伽一学独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标志和致谢的地方外，

2、论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得金胆工些太堂．或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签字：撇签字日期：y，1年沙月_)6日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解金胆王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金月巴王些厶堂可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等

3、复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文者签名：硗娘签字日期：矽，J年沙月艿日学位论文作者毕业后去向：工作单位：通讯地址：导师签名：签字日期：如f1年串月诊日电话：邮编：空气静压气浮平台特性的研究摘要现今TFT-LCD产业发展的速度越来越快，其所使用的玻璃基板尺寸、重量也都在不断增大。在这种情况下，传统的接触式运输方式中存在的接触性损伤、基材变形等问题变得更加突出，直接影响到产品生产良率，在一定程度上限制了大尺寸LCD产业的发展。空气静压气浮平台作为一种新型运输设备，采用气

4、体作为润滑介质，通过在平台表面与玻璃基板之间形成一层气体薄膜来实现支承和润滑的功能，完成非接触式的运输，已经被越来越多的运用于液晶面板的生产之中。本文根据研究的实际需要，建立了静压气浮平台的流体模型，在气体润滑理论基础上对平台的静态特性参数进行计算，合理的划分了计算网格，并运用CFD技术对所建模型进行仿真分析，详细探讨了气膜内气流轨迹、压强、流速、质量流量及静承载力的分布和特点，为空气静压气浮平台的进一步研究和设计提供了依据。关键词：空气静压气浮平台：气体润滑：CFD：仿真分析：静态特性参数ⅡStudyon

5、TheCharacteristicsOfAir--bearingPlatformABSTRACTNowadaystheTFT-LCDindustrydevelopsfasterandfaster,andthesizeandweightoftheglasssubstratesutilizedinthisindustryareincontinuousincrease．Underthiscircumstance，theproblemsofcontactdamageandbasematerialdeformatio

6、nexistinginthetraditionalcontacttransportationtypebecomemoreprominent，whichdirectlyaffectstheproductioneffectivenessandlimitsthedevelopmentoflargesizeLCDindustries．Theair—bearingplatform，asanewtransportationequipment，utilizegasaslubricantmedium，andrealizet

7、hefunctionsupportingandlubricationbyproducingathingasfilmbetweenplatformsurfaceandglasssubstratesinordertocompletenon-contacttransportation．IthasbeenwidelyusedintheproductionofLCDpanel．Inthispaper,accordingtotheactualresearchneeds，thefluidmodelofair-bearin

8、gplatformisestablished，thestaticcharacteristicparametersoftheplatformiscalculatedbasedongaslubricationtheory,andthecalculationmeshisdividedreasonably．ThesimulationanalysisofthemodeliscarriedoutthroughCFD，andt