SIW交指带通滤波器的设计与仿真.pdf

《SIW交指带通滤波器的设计与仿真.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、卜乖划传感技术字报V0L28NO．92015年9月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSSept．20l5DesignandSimulationofSIW—InterdigitalBand—PassFiltersZHAIQionghua一，OUYi，XUEChenyang，LIZhigang，OUWen(1．KeyLaboratoryofInstrumentationScience&DynamicMeasurement，MinistryofEducation，NorthUniversityofChina。Taiyuan030051，China2．Institu

2、teofMicroelectronicsofChineseAcademyofSciences，IntegratedCircuitAdvancedProcessCenter，Beijing100029，China)Abstract：Adouble-layerSIWband-passfilterhasbeenintroduced，inwhichtheinterdigitalstrip—linesstructurewasutilizedtoachieveresonantandtheCPWcoplanarwaveguidewasusedastheinputandoutputlines．Thechip

3、sizeofthemillimeter-wavefilterdesignedisassmallas7mmX3．5mmX0．8mm．Thenthefilterwassimulatedandoptimizedbyusinga3Delectro-magneticfieldanalysissoftware．Thesimulationresultsshowthatthecentralfre—quency，bandwidth，andinsertionlossofthedesignedfilterrespectivelyare10．6GHz，2．5GHzand2dB，whichful-lymeetthed

4、esignaims．Finally，thefabricationprocessoftheMEMS—basedfilterwaspresented．Keywords：band-passfilter；SIW；interdigital；tapped-line；MEMSEEACC：2575；1270D；1320doi：10．39690．issn．1004-1699．2015．09．019SIW交指带通滤波器的设计与仿真翟琼华，欧毅，薛晨阳，李志刚，欧文(1．中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051；2．中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心，北京100029)摘要：介绍了

5、一种双层SIW带通滤波器，两层之间采用交指结构实现谐振，输入输出采用共面波导形式。所设计的毫米波滤波器芯片尺寸仅有7minX3．5minX0．8mm，使用三维高频电磁仿真软件对该结构进行仿真和优化，结果表明滤波性能符合设计要求：中心频率10．6GHz、带宽2．5GHz、带内插损2dB。最后阐明了基于MEMS技术的该滤波器的工艺制作流程。关键词：带通滤波器；基片集成波导；交指型；抽头式；MEMS中图分类号：TN603．5文献标识码：A文章编号：1O04—1699(2015)O9—1379一O5微波滤波器是一种无源二端口网络，具有频率双层SIW界面制作交指型金属图形以实现电磁耦选择特性，广泛应用

6、于雷达、电子对抗和通讯等系合，设计了一种微波带通滤波器，具有体积小、重量统中，是实现高质量高可靠性系统的保障，小型化轻、插损低等优点，可用MEMS工艺来实现。和高性能是其重要的研究方向。抽头式交指带通1设计原理滤波器因为具有体积小、重量轻、频带宽、二次通带对于窄带和中等带宽(FBW<30％)的滤波器，远和易实现等优点而得到广泛应用。基片集成波导(SIW)是由介质基板、上下金属面、金属化通孔组通常选用终端短路式交指结构来实现口，其阶数由成的类波导结构“，具有品质因数高、功率容量大、下式确定]。ln2acosh-1$'21隔离度高、低插损、低辐射、小体积、轻重量、低成-本、易集成等诸多优点，是平

7、面微波毫米波集成电，¨■路中的研究热点。cosn—■二二二二==本文在硅片上制作金属通孔以实现谐振腔，在√1+项目来源：基于两种非线性理论的新型MEMS振动能量收集芯片研究项目(61274119)；应用于太赫兹成像的左手材料焦平面阵列研究项目(61306141)收稿日期：2015—03—26修改日期：2015—06—17传感技术学报1380WWW．chinatransducers．com第28卷厂，L、sin