大平面长平面精密研磨技术研究.pdf

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1、2012年8月机床与液压Aug．2012第4O卷第16期MACHINET00L&HYDRAULICSVo1．40No．16DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2012．16．005大平面长平面精密研磨技术研究胡秋，刘龙斌(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900)摘要：对包括温度、振动等精密、超精密研磨的环境支撑条件进行了实验与分析，指出精密研磨中研具、研磨剂选择应注意的事项，提出基于检测与研磨相互循环的大平面、长平面精密研磨方法，获得了稳定的000级100

2、0mmx630mm×150mm大理石平板研磨水平。关键词：大平面；长平面；精密研磨中图分类号：TG502；TH122文献标识码：A文章编号：1001—3881(2012)16—014—2ResearchonPreciseGrindingTechnologyforBigandLongPlaneHuQiu．LIULongbin(InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，MianyangSi

3、chuan621900，China)Abstract：Theenvironmentalconditionsofultraprecisegrinding，includingtemperature，vibrationandSOon，weretestedandanalyzed．Noticesaboutselectionoflapperandabrasiveusedinultraprecisegrindingwerepointedout．Thegrindingmethodforbigandlargepla

4、nebasedoncycleoftestandgrindingwaspresented．Thestable000grindinglevelforthemarblefiat，whichdimensionis1000mm×630mm×150mm．isgottenbyusingthismethod．Keywords：Bigplane；Longplane；Precisegrinding精密超精密导轨是精密、超精密加工设备的一项研磨所涉及的工件、研具、工装夹具、检测仪器关键共性技术，它用于支承并引导运动部件

5、使之沿规应在恒温室达到热平衡后方可投入操作，一般小的工定的轨迹作准确运动，其导向精度及精度保持性、刚件及研磨材料在恒温室恒温8h以后方投入操作，但度与承载能力、低速运动平稳性是保证机床加工时使对导轨、机床基座这种大型部件恒温时间远在8h以工件达到预期尺寸、形状和相对位置精度的重要保上，此时应对这种大型部件在恒温室内每4h进行相证。进行与精密超精密导轨研磨相关的环境支撑技关形位精度检测，一直到形位公差连续2—3次检测术、研磨工艺、过程检测技术的研究，具有十分重要结果相同后方可投入操作。的意义。温度对

6、研磨及检测过程的影响还表现在清洁时清1研磨环境洗剂的选用上。挥发性的溶剂如醚类、醇类在清洗时精密研磨属于精密超精密加工方法的一种，其对能加快大理石表面水分汽化，汽化的过程也是一个加环境有着严格的要求，这主要体现在温度、振动等几速冷却的过程，这对研磨、检测影响极大，且影响结个方面。果和工件本身形状(凸、凹)、检测平台形状、工件1．1温度在检测平台上的位置(中间、边缘)等诸多因素有温度对研磨影响极大。实验表明，采用同一测量关。方法对00级1000mm大理平尺(直线度2．5m)1．2振动在精密恒温问(温

7、度控制在20±0．5℃)空调开启环境的干扰(如人的走动、天车等)会明显影前和空调开启4h后分别进行测量(空调为首次开响研磨过程和研磨中的精度检测，振动对研磨的影响启，此时恒温但并未达到热平衡状态)直线度相差大于作者最初的调研结果。实验表明：由于地基未作达3m。所以，精密研磨要求在恒温室内进行，理处理，在大理石测量平台两端有人走动或者站不同体想的环境温度为20±0．5℃，研磨间应具有良好的温重的人时，都会对直线度测量产生明显的影响；而行度场梯度，研磨时工件和研具应达到充分的热平衡。车走动时影响更大(

8、相差可达4～5m)。因此研磨收稿日期：2011—06—3O作者简介：胡秋(1971一)，男，工学硕士，主要从事机电一体化系统设计集成测试、超精密加工设备研制等科研工作。E—mail：huqumaster@163．eom。第16期胡秋等：大平面长平面精密研磨技术研究·l5·间地基应作防振处理，研磨工作台采用独立地基更好。2研磨材料2．1研具研具是研磨剂的载体，也是研磨成形的工具，研具几何形状按一定方式传递到工件上，研具应与工件材料的物性、研磨要求(尺寸精度、形位精度及表面粗糙度)相匹