大规模集成电路专用设备晶片处理系统中高精度、宽范围调速系统的实现.pdf

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1、·50·工业仪表与自动化装置2014年第5期大规模集成电路专用设备晶片处理系统中高精度、宽范围调速系统的实现王琳，年有权(1．西安铁路职业技术学院，西安710085；2．西安捷盛电子技术有限责任公司，西安710119)摘要：提出了一种新的计算机控制高精度、宽范围的调速系统，采用直接数字控制实现了快速实时调速。系统采用软件和硬件结合的控制方案，给出了系统原理框图和控制流程图，解决了快速响应与控制精度之间的矛盾。经测试，对于一个宽度范围为200～8000r／rain的调速系统而言，调速精度能够控制在±10r／min以内，满足了晶片处理系统的工艺要求。关键词：加速度；速度；双闭环

2、；采样；测速；调速中图分类号：TN407文献标志码：A文章编号：1000—0682(2014)05—0050—03TheimplementationofspeedregulationsystemofhighprecisionandwiderangeintheprocessingsystemoflargescaleintegratedcircuitchipforspecialequipmentWANGLin，NIANYouquan(1．Xi’anRailwayVocational＆TechnicalInstitute，Xi’an710085，China；2．Xi’anJies

3、hengElectronicTechnologyCo．，Ltd．，Xi’an710119，China)Abstract：thispaperproposesanewkindofmethodthatcomputercontrolsspeedregulatingsystemofhighprecisionandwiderange．knownasrapidreal—timesystemofthedirectdigitalcontro1．Thesys—temusesacombinedcontrolschemeofsoftwareandhardwareandgivestheprincip

4、lediagramofthesys—temandthecontrolflowchartandsolvesthecontradictionbetweentherapidresponseandthecontrolpre—cision．Practicehasprovedthatthespeedcontrolprecisioncancontrolwithin±10r／minforthespeedregulatingsystemoftherangeofthewidthof200—·8000r／minandmeetthetechnologicalrequirementsofproces

5、singsystemofchip．Keywords：acceleration；speed；doubleclosed—loop；sampling；speedmeasurement；speedregulation电机进行加速度控制直至检测到系统的速度达到给0引言定速度值为止。待加速过程完成后，开始进行调速随着微电子技术的飞速发展，大规模集成电路控制。一路通过电机的转速频率采样和频压转的集成度愈来愈高。涂覆在晶片上胶膜的厚度和均换等环节实现内闭环稳速控制，一路通过电机的转匀性直接影响光刻的效果和产品的质量，这就对大速频率采样、信号整形、计数定时以及计算机硬件接规模集成电路专用设备

6、晶片处理系统尤其对涂胶口等环节实现外闭环调速控制，计算机根据反馈的机⋯的速度及加速度控制提出了更高的要求。转速信息进行运算处理，不断地修正D／A转换器的模拟量输出，最终达到高精度调速的目的。LCD显1系统构成示屏_5实时显示系统的加速度给定值、速度给定值该文介绍的高精度、宽范围调速系统采用双闭及当前实测的速度值。其调速系统的原理框图如图环控制，由计算机进行数字量测量和控制，系统1所示。加速度给定和速度给定由键盘设置，计算机根据加H倒速度给定值通过D／A转换、PWM控制引，驱动直流Il菌II收稿日期：2014—05—12星J．_J—_1塾枣-—_1焦呈墼H韭鲨塑垩壁作者简介：

7、王琳(1961)，男，陕西西安人，大学本科，讲师，研究图1调速系统原理框图方向为微电子制造技术。2014年第5期工业仪表与自动化装置·51·速、最高转速和系统要求的最大允许误差来综合2测速方法确定。在系统中，速度信号以码盘和光电开关获2．2测速软件设计得，以频率信号方式输出，是一个数字量。速度频率系统中，主轴每转一周输出30个脉冲，8253的信号的脉冲经过放大、整形，输入到计算机系统进行0通道用于对速度频率进行分频处理，工作在方式3处理。这样可以完全避免由于传输电路中信号的衰下，故计数初值应为60；1通道用于对计时