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1、超纯水设备EDI与混床简介一、EDI系统概述半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子水质技术分为五个行业标准，分别为1MΩ.cm、5MΩ.cm、10MΩ.cm、16MΩ.cm、18MΩ.cm，以区分不同水质。电子行业制备超纯水的工艺大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的其基本工艺流程为：原水→原水箱→原水泵→多介质过滤器→保安过滤器→阳床→阴床(
2、复床)→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点二、制备电子工业用超纯水的工艺流程2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备其基本工艺流程为：原水→原水箱→原水泵→多介质过滤器→保安过滤器→高压泵→反渗透设备→RO水箱→混床泵→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→原水箱→原水泵→多介质过滤器→精密过滤器→高压泵→反渗透设备→RO水箱→(EDI)泵→保安过滤器→紫外线→电去离子(EDI)
3、→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点EDI(Electro-de-ionization)是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术(电渗析技术)相结合的纯水制造技术。该技术利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不彻底,又利用电渗析极化而发生水电离产生H和OH离子实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷,是20世纪80年代以来逐渐兴起的新技术。经过十几年的发展,EDI技术已经在北美及欧洲占据了相当部分的超纯水市场。三、EDI工作原理EDI装置属于精处理水系统,一般多与反渗透(RO)配合使用,组成预处理、反渗透、ED
4、I装置的超纯水处理系统,取代了传统水处理工艺的混合离子交换设备。EDI装置进水要求为电阻率为0.025-0.5MΩ·cm,反渗透装置完全可以满足要求。EDI装置可生产电阻率高达18MΩ·cm以上的超纯水。EDI装置不需要化学再生,可连续运行,进而不需要传统水处理工艺的混合离子交换设备再生所需的酸碱液,以及再生所排放的废水。其主要特点如下EDI的净水基本过程·连续运行,产品水水质稳定·容易实现全自动控制·无须用酸碱再生·不会因再生而停机·节省了再生用水及再生污水处理设施·产水率高(可达95%)·无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施·占地面积小·使用安全
5、可靠,避免工人接触酸碱·降低运行及维护成本·设备单元模块化,可灵活的组合各种流量的净水设施·安装简单、费用低廉·设备初投资大四、EDI装置的特点EDI装置与混床离子交换设备属于水处理系统中的精处理设备,下面将两种设备在产水水质、投资量及运行成本方面进行比较,来说明EDI装置在水处理中应用的优越性。(1)产水水质比较EDI装置是一个连续净水过程,因此其产品水水质稳定,电阻率最高可达18.25MΩ·cm,达到超纯水的指标。混床离子交换设施的净水过程是间断式的,在刚刚被再生后,其产品水水质较高,而在下次再生之前,其产品水水质较差。(2)投资量比较
6、 与混床离子交换设施相比EDI装置投资量要高约20%左右,但从混床需要酸碱储存、酸碱添加和废水处理设施及后期维护、树脂更换来看,两者费用相差在10%左右。随着技术的提高与批量生产,EDI装置所需的投资量会大大的降低。另外,EDI装置设备小巧,所需厂房远远小于混床。五、EDI装置与混床离子交换设备比较(3)运行成本比较EDI装置运行费用包括电耗、水耗、药剂费及设备折旧等费用,省去了酸碱消耗、再生用水、废水处理和污水排放等费用。 在电耗方面,EDI装置约0.5kWh/t水,混床工艺约0.35kWh/t水,电耗的成本在电厂来说是比较经济的,可以用
7、厂用电的价格核算。 在水耗方面,EDI装置产水率高,不用再生用水,因此在此方面运行费用低于混床。 至于药剂费和设备折旧费两者相差不大。EDI技术在国外广泛的应用有十几年的时间,大多用于制药行业、微电子行业、发电工业和实验室。在表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业的应用也日趋广泛。EDI技术的应用1、制药行业、微电子行业、发电工业和实验室。2、在表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业的应用也日趋广泛。3、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;4、超纯材料和超纯化学试剂;5、实验室和中试车间;6、汽车、家电表面抛光处理;7、光电产品;8
8、、其他高科技精微产品;六、EDI技术的应用净得瑞宗旨专业专注客户至上创造卓越谢谢!
