直流磁控溅射制备透明导电ZAO薄膜退火处理时间的研究.pdf

《直流磁控溅射制备透明导电ZAO薄膜退火处理时间的研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、!!!""!##"$%!!$$%&"'"(")"*"+",";34/?<$%!!!#&!!!'!("$%!!##)!!B$)%(",-./0-/1/-2034356708905.0//:.05!"$%!!",-.<1/-2<90505<þÿÒfÓÔÕsÉÖ×HÊ

2、^9HئÙÚFÛ,"o""""¡"¢"AXå':;*&'()'1$E7(!%#*$#4"5"A¶¤ùúWµûü>ýâô"stþ¢ÿÔ!(:"1"®¶Ö'''!$I&c7b>ý8#ÒC$%f0@%fA@&µ"P¤¥&qÑuýþ/!"!Ù'!"(4

3、"st¶Ö)>ý8(WfA@µ"P*:st&qÑu¶+µ/,JÓÞ#·#ÐN-:-C(W!µ/CD%./&qýþ/0!ÀÆ2"ìn¾±N*N*²ý/*I(K!%)(-E"bÆx!IBK!%)(-E)µ/#%0!x'%i:³"+Ĥ1ι2R!ÓÈ"&q$2"fA@(W¶+h!678"fA@""þ¢ÿÔ!(""&qýþ9:;<"="1=*%+I$!%"""">?@AB"A""O½ZHLhògó

4、ÕÉH^IS(!)"1e@#O½%ÏnðòOHLhH'J<¸"#uvEFµðhun1@"n0$@*L,0@$#

5、ÕÉH½$ìrronn

6、½Mþÿdo¢$µðæ>è"%"#^9H!¶(í"($)ò'N?^IC"fA@#O½GO*¨lõ*rfA@O½Rÿ

7、~µðWZ¨,à()}r*f]çÙaö÷t±}hI'è+%(%%ZUÿRÿH(Rÿ;e$RÿCr$N±}în1@dt®hH'¨'r$Î[DB%Z'Rÿà,tµðhXFN?¥±ËåhEFAP$¨n1@O½hQÃXF:$gVih^IC?56XF$UÜ(%EE$YD(*$+)ñEF

8、ÕÉH^ISO½hrá'ffA@+EE$XFZDTY!EE$Xw*ZsO½òañaw$ËûRÿñ±}Q*¨*<(EE'ïðWXSTRÿ

9、[½$ò<ðP*lõ*Ñ8O*HÊÆSTqDõ*òOO½bDGç[½åÙçST1ýv{!(*¯ÏrçHá'¿l/ïðUÿËûRÿE.0$»ðc]^á_cRÿå'

10、~lT,àfWXisSTkò´fA@O½»îÆ!I*K!%N*c7$»äYRÿáaA:á$ûòáachUD$EFUDg0ÆcO½þajÎ*Oÿ±!$F--E$^Rÿá+!$I&c7$Rÿ(%:d*¹w!V*¨HprçrhRK'E.0'¤(sO½$*%%oqDoËÝ,àUD!*$***+*(2'$%!%$!$%B<=>E#@@5ö'EIJ"$%%'A%B%+%%%!

11、!#*"_$#^9H!¶(PUE#@BCªÀDEñIJ"$%%'A%!!'%%%%($$%%B$%(!!($ïðA[an@,_c$Réw±>fA@O$%%B%!%!)+#*E#@æß&'i=IJ"%#%$(!B($B!(!%$&(%!%%%%&##*õ7å'Fñ´âäá

12、~åG'P½hYDB!#0E'O½hþajβ_+c/:Vc:3i=IJ",DQ$%%B)!*#LM[cTR_ÿqÿË@>%O½¹w!V²!NOPQR&HIJ"!B'+!#$Ö$7K[$_`$EFab&þ£HÙÞþK",9[#Ë@>%¶ð,@m!(RfHÙ(

13、)*®¨HÂG'9NE7.4&`8F2.u(!&H!$#I-3E'H]Â0ª±>O½aH²%¶ð##HIJ$ç&UÿËûRÿò

14、ÕÉHfA@O½UDg0ÆchEF!!B*"((),kf[ATfbb;!$+%%R9¿Ï¬¨Ë¨¨DGl/Zðþ#deGǶð,-2/::/:s±O½h¨'

15、àD'À}±¶ufåqo<$%AB,N""-3F'#"!#h's"!#t,Yÿq4r$""%%$#Øm$'uÿØÿz'$#^9HئDÜ0Ý¿Þ

16、¶#$Q%el>%I&+jÈ%þ#dezëå$åþ#zg»M!SHÊn½ËÝUD"!!(#2n»ãþ#$jþ¥±zr$UD$2n»ÂèÓhfA@O½h_dT¨'3:Zð3K!!#''UDg0Ïn»Åº±$µSHÊÆééÿ¨tÏn>$À}ZðhÿØgv>±õ

17、ÿz*+I+(jsõ$¹Õ*