INCA Energy中文操作手册.pdf

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1、INCAEnergy中文操作手冊本手冊適合INCAV4.0以後版本Analyzer功能＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE4Point&ID＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE12Mapping＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE14Linescan＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE16儲存Project＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE17附註A:能量校正＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE18附註B:執

2、行WarmUp＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE19附註C:執行CoolingDown＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE20附註D:自我檢測＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE21捷東股份有限公司-1-1.樣品準備。2.放入SEM內觀察。a.設定高壓(Acc.Volt)後,HTON,,移動至欲分析位置。b.設定工作距離(WD)=20mm(JSM5600/5610)=15mm(JSM6335/6340F)=10mm(JSM6500F)=8mm(JSM6700F)。c

3、.調整Z軸,使影像聚焦清晰並維持WD=20mm(JSM5600/5610)位置。d.轉入EDS偵測器至設定位置。3.從Windows桌面按,開啟INCA軟體,或至START=>PROGRAM=>OxfordInstruments內執行。-2-導覽式視窗開啟。-3-4.INCAEnergy有三大功能:Energy:EDS圖譜定性,影像定點,Mapping及Wave:WDS定量分析多點分析LinescanCrystal:EBSD5.Analyzer功能:a.從Options內選MicroscopeControl…,

4、若有連線AutoColumn功能,則HV,WD及倍率資料會自動從SEM抓取,否則必須手動輸入,記得要按Enter。b.保持此視窗開啟,也可讓它最小化。c.按。-4-輸入專案名稱輸入客戶訊息此專案的備註輸入關鍵字以利尋找本專案d.按,有指引步驟出現,或可進一步查詢SEM,EDS…等原理。e.按。-5-輸入樣品名稱樣品ID名稱此樣品註解選擇AUTOID時的型態(選Default即可)樣品是否拋光?樣品是否有濺鍍?f.按後再按。g.調整SEM的SPOTSIZE使DeadTime<35%,AcquisitionRate

5、約1Kcps。一般定性,定量分析Processtime設5或6。(解析力好但DeadTime大)Mapping或Linescan分析可設為1或2。(解析力差但DeadTime小)-6-h.按開始分析。i.先設定參數:Livetime:設定收集停止時間(最好設50Sec以上)。Processtime:設6解析力最好。Spectrumrange:分析能量範圍設0-20keV,所有元素即可涵蓋。Numberofchannels:設1K代表每個通道解析力為20eV。手動停止收集。j.按開始收集圖譜。k.此時會開始收集圖

6、譜,並會自動定性,直到AcquisitionTime結束。l.再按則開始收集另一圖譜,Spectrum名稱會自動加1。m.若按,則原圖譜會消失並收集新圖譜。n.在圖譜上按滑鼠右鍵:(按左鍵可移動圖譜位置及上下高度,若再配合鍵盤上的Ctrl鍵則可縮小或延展圖譜)-7-Copy:複製此圖譜至其他軟體內。ResetScale:圖譜座標自動回覆。Export:圖譜輸出成檔案格式。LineDraw:以黑白線條來表現圖譜。SmartPeakLabels:只標示主要Peak的元素。PeakLabelEditor:可編輯欲標示

7、的元素名稱。Scale,excludeNoisePeak:座標自動化時,忽略NoisePeak。Details:顯示圖譜資訊。o.按,可以進一步做手動定性。p.按,後再移動滑鼠至Peak最高點,按滑鼠左鍵,則會顯示此Peak的位置有可能會出現的元素。q.或按下此週期表內可能的元素。-8-r.按,若有兩個以上的圖譜,則可進行比對(最好圖譜所收集的條件要一樣)。s.點選Available內的圖譜名稱至Comparing內。t.按,做成圖譜定性報告並列印。u.若要定量按。Allelements:全元素定量(一般選此項

8、)。-9-ElementbyDifference:定量計算時,氧(Oxygen)不列入計算,最後再把餘額配給氧。Elementbystoichiometry:氧不做定量計算,但會算出氧的混何物比重。Normalize:比例配成100%。WeightPercent(Wt%):重量百分比(選此)。AtomicPercent:原子量百分比。v.最後按即可得到所有圖譜的定量結果。w.按,做成圖