大口径凸非球面面形检测方法研究-论文.pdf

《大口径凸非球面面形检测方法研究-论文.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第4l卷第4期中国激光Vo1．41，NO．42O14年4月CHINESEJOURNALOFLASERSApril，2014大I：1径凸非球面面形检测方法研究宋强杨宝喜袁乔李璩朱菁黄惠杰／中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室，上海201800、＼中国科学院大学，北京100049／摘要提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法，用于大VI径凸非球面透镜的检测，克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难，降低了设计难度和装调难度，节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统，对误差来源进行了

2、分析并给出消除方法。对直径@270mm的凸非球面透镜进行检测，测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0．585A和0．083A。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考，能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。关键词测量；光学测量；光学制造；非球面；零位补偿中图分类号0436文献标识码Adoi：10．3788／CJL2O1441．0408003StudyonLargeConvexAspheriealLensTestingSongQiang，YangBaoxi，YuanQiaoLiJingZhuJing，。Hu

3、angHuijie’LaboratoryofInformationOpticsandOpto-ElectronicsTechnology，ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai201800，ChinaUniversityofChineseAcademyofSciences，Bering100049，ChinaAbstractAsurfacemeasurementmethodofconvexasphericallenswithl

4、argeclearapertureiSproposedbasedonanasphericalcompensationmirror．Itovercomesthedifficultythatmultiple1ensesareneededforcompensatingthenormalaberrationofconvexaspherical1ens．Inaddition，itsimplifiesthedesignandreducesthecost．Asphericallensmeasurementsystemwithlargediameter

5、isdesignedandimplemented．Sourceoferrorissystematicallyanalyzed，andeliminationmethodoferrorisalsoproposed．Inordertoverifythefeasibilityoftheproposedmethod，aconvexasphericaIlenswithanapertureof270mmisinspected．Thepeakvalley(PV)valueandrootmeansquare(RMS)ofthetestedaspheric

6、aIsurfaceare0．5852and0．0832，respectively．Thismethodprovidesatechnicalreferenceforlargeapertureasphericalsurfacetesting，andalsocanbeusedinthefieldofroughpolishingtesting．Keywordsmeasurement；opticalmeasurement；opticalfabrication；aspherica1surface：nul1compensationOCIScodes2

7、20．3740：220．1250：220．36201引言时其面形精度也是影响光学成像的关键因素。大口近几十年来随着光学加工技术的进步，非球面反径非球面镜面形检测一直以来都是难点和热点。射镜在离轴三反光学系统、高分辨光栅光谱仪。]为了对非球面的面形进行测量，科研人员进行了大量领域有着广泛的应用。非球面透镜同时也是深紫外的研究。根据测量方法的不同，可以将检测方法分为光刻机中的重要元件，具有消除系统部分高级像非干涉测量法与干涉测量法两类。差，增大视场，简化光学系统结构的重要作用，与此同在非干涉测量法中，一种是利用刀口阴影法对收稿日期：2013

8、—10—17；收到修改稿日期：201310—29基金项目：国家国际科技合作专项(2011DFR10010)、国家科技重大专项(201lZX02402)作者简介：宋强(1987一)，男，硕士研究生，主要从事高