禾川蓝宝石抛光液配方案例.pdf

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1、报告编号(SampleID)：HCC2014******禾川检测报告(HeChuanAnalysisReport)样品名称(SampleName)蓝宝石抛光液样品编号(ReportID)HCC2014*****委托单位(Applicant)**********************签发日期(IssuedDate)2014-**-**苏州禾川化学技术服务有限公司SuZhouHe-ChuanChemicalTechnologyServiceCo.,Ltd.报告编号：HCC2014******禾川分析报告第2页共12页样品名称蓝宝石抛光液（SampleName）样品编号HCC2014*****

2、**（ReportID）委托单位**********************（Applicant）委托单位地址/Authorizedaddress样品描述液体（SampleState）样品数量1（SampleQuantity）委托日期2014******（ReceivedDate）完成日期2014*******（CompletedDate）检测要求定性、定量分析(Testrequirements)分析结果请参见下页(Testresult)**********************报告撰写报告审核报告编辑签发日期2014-**-**苏州禾川化学技术服务有限公司，致力于化工行业材料检测、材料

3、分析、配方还原、新领域新材料的开发；推进新项目整体研发进度，缩短研发周期，推动化工产业自主研发的进程。电话：051280968400网址：http://www.hechuanchina.com地址：星湖街218号苏州生物纳米园B2楼606报告编号：HCC2014******禾川分析报告第3页共12页分析结果：序号组份名称质量百分比牌号/CAS号备注NO.CompoundNameContentRangeMarks/CASNO.Comments1二氧化硅------------200nm研磨剂，细抛光2二氧化硅7.2-7.4%-----------研磨剂，粗抛光3---------------

4、0.32-0.38%---------------催化剂、碱性介质4磷酸氢二钾0.20-0.22%7758-11-4稳定电荷值5氯化钾--------------7447-40-7电解质6硫酸钠0.19-0.21%7757-82-6电解质7---------------0.15-0.20%---------------络合剂8羧酸钠盐0.04-0.08%---------------稳定剂9脂肪醇聚氧乙烯醚--------------O-15表面活性剂有机碱10二乙醇胺（DEA）0.02-0.05%111-42-2辅助络合剂11--------------0.20-0.30%-------

5、-------硅烷处理剂12水59.7-60.1%/分散介质注解：1.样品理化信息固含量：40.1%pH值：10.272、成分说明1）研磨剂二氧化硅的粒径主要分布在在90~280纳米之间，粒径分布图上的110微米处的颗粒可能是部分二氧化硅发生了团聚所致。多种不同的粒径的二氧化硅混合使用，起到粗抛光与细抛光相结合的作用。2）络合剂金属离子对半导体芯片危害极大，可导致器件电特性劣化，可靠性降低。络合剂对几十种金属离子都具有很强的螯合作用，且与水互溶，加入络合剂主要是为了去除浆料及CMP过程中产生的金属离子，提高蓝宝石衬底片成品率。苏州禾川化学技术服务有限公司，致力于化工行业材料检测、材料分析、

6、配方还原、新领域新材料的开发；推进新项目整体研发进度，缩短研发周期，推动化工产业自主研发的进程。电话：051280968400网址：http://www.hechuanchina.com地址：星湖街218号苏州生物纳米园B2楼606报告编号：HCC2014******禾川分析报告第4页共12页3）pH值碱性抛光液中，抛光速率与抛光液的pH值成指数关系，随pH值的增加，抛光速率不断增大，这是由于蓝宝石为两性氧化物，随着碱性的增加，化学反应加快，促使反应平衡向右方移动。无机碱没有PH缓冲作用，而有机胺不仅可以作为PH缓冲剂，而且还可以减少无机碱中的金属离子在抛光过程中进入衬底材料中，提高成品率

7、。4）分散剂加入适量分散剂既改善浆料稳定性，又抑制反应生成颗粒在被抛光表面的吸附，加快质量传递过程。分散剂的加入抑制了颗粒在表面的强吸附状态，而在研磨料作用下容易离开被抛材料表面，使得抛光进一步进行。本检测结果仅对来样负责。苏州禾川化学技术服务有限公司，致力于化工行业材料检测、材料分析、配方还原、新领域新材料的开发；推进新项目整体研发进度，缩短研发周期，推动化工产业自主研发的进程。电话：051280968400网址：ht