国内微型器件装配技术的现状与应用

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1、研究生论坛"#$%&’()*(%+,#’*-国内微型器件装配技术的现状与应用段瑞玲李玉和李庆祥!清华大学精密仪器及机械学系"北京!"""#$#!摘要"微机电系统!%&%’$以飞快的速度发展成为一个集微型机械%微传感器%微能源%微致动器%微控制器%微执行器%信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域&微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展"吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究&本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响"然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果"最后阐述了微装配系统的发展趋

2、势&关键词#微装配’微机电系统’微操作中图分类号#()$"*1"22,.34353"67.89::;-073-*.6*/<-02*=566,+>;$?,0@.*;*A$./01234564+789:35;<89=4+75>4?+7".<@?AB*<+BCDEA632503B06C+7S4B;B;

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5、)-其飞快的发展速度成为一个集微型机械$微传感器$)**的微机械以及)+*()!*的纳米机械%由于具微能源$微致动器$微控制器$微执行器$信号处理和有可在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和((()*+,-./*)0*+!.!"#$%&&’研究生论坛#$%&’()*+)&,-$(+.对象的特点!!"!#的意义和应用将涉及航空航天"基本微单元技术的研发$目前!尽管已有一些新型的军事"生物医学工程"太空探险和深海探查等诸多领三维微加工工艺!如()*+工艺%立体光刻工艺域#一旦技术成熟并形成产业化!必将对国民经济建&#,-.-/(0,1/2.34156./7-88’!但大多数还仅

6、限于传设"国防建设乃至社会发展产生深远的影响!因此被统的光刻工艺&(0,1/2.34156./7-88’$要构建一个微誉为$%世纪十大关键技术之首!是$&世纪最具代传感器%微致动器等多微功能单元集成化的!"!#表性的技术$仍是一项具有挑战性的技术$因此!三维微系统的实!微装配研究的重要性现在一定程度上还必须依靠微装配技术!同时微系%()MEMS的复杂结构要求对微装配研究高度重视统的改进%修复也都离不开微装配技术!从这个意义!"!#具有体积小%精度高"重量轻"性能稳定"上讲!微装配技术是微系统的一项基本和关键的技可靠性高"能耗低"灵敏性和工作效率高"多功能和术$智能化"适合大批

7、量生产"制造成本低等特点$其基%(+实现,-,.同宏观系统联系的桥梁本技术主要有微机械系统设计技术"复杂可动结构!"!#需要在狭小的空间内集成信号处理系微细加工&高深宽比多层微结构加工’%微机械材料%统%传感器及驱动器等!正是这种高度的集成化!使微装配和封装%微操作%微测量%微系统的集成与控产品能获得非常好的性价比$近年来!在!"!#得制%微’宏接口等技术$微传感器%微致动器和微控制到迅速发展的同时!对装配技术也提出了更高的要器是微系统的基础单元$随着!"!#从基础研究到求$由于技术上的原因!如!"!#