现场洁净室的管理.doc

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1、洁净室的管理洁净室又称为无尘室，是伴随现代微电子制造业而发展起来的。可以说，无尘室品质的好坏，很大程度上影响产品的良率，直接影响企业的经济利益。洁净室管理主要分为四个方面：洁净室人员进出管理、原物料（设备）进出管理、洁净室内用品管理、环境支持系统管理，以下分别加以说明。一．洁净室人员进出管理1.在洁净室内的作业人员或其它人员的移动或动作均是发尘源，直接影响制程，同时也会影响气流的扰动，为防止与控制上述情形，基本上需注意下列事项：a.不可在作业区域气流的上方放置物品或做其它作业。b.不必要的动作尽量避免以防止乱流及发尘。c.为控制发尘量，人员歩行及作业要静

2、静地进行。d.作业要在洁净的工作台或工作桌进行。e.器具须放在有盖子的箱子或柜中，并置放于规定的地方。2.作业人员须经常保持手的干净，要常洗手、剪指甲，男性须每天刮胡子。3.在洁净车间内洁净衣要经常保持着衣的状态。4.下列所述者不能进入洁净室：a.非作业人员或事先未得许可者。b.没有按照规定穿着洁净衣者。c.刚做激烈运动流汗者。洁净室洁净度维持的最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员的人数、行动状态、进出规则的制定与执行，提高洁净室内作业人的洁净意识、教育，都是很有必要的。一．原物料（设备）进出管理除了人员进出洁净室须规范管理外，原材料及设备的进出也必

3、须经过洁净程序，才不致于影响洁净室的洁净度。至于搬出则反向而行，但不须经洁净程序。原物料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10000级的房间，工作人员在里面清洁设备或原物料时必须穿着洁净衣服，所使用的擦拭材料为无尘纸或不会脱落纤毛的无尘布，清洁剂除了使用超纯水的外，并加入3~5%浓度的丙酮化学品，以增强去污能力，由于丙酮具有挥发性，故此房间的排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面，须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板。二．洁净室内用品管理洁净室用品除了进出洁净室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套口罩外，还有如纸张文具、桌子、椅子、芯片

4、盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空吸尘器等。洁净衣的材料以洗后或使用其它处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成，帽子材质则与洁净衣同，二者再穿戴使用时，除了露出眼睛或脸表面部份外，其它部份均包覆，在颈部部份连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能漏出来。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤。手套材料除为与洁净衣相同的布料外，还有薄橡胶或乙烯树脂。洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在

5、洁净室进行，并以纯水配合清洁溶剂。洁净衣的置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内。桌、椅一般以不锈钢材质为主，表面经过加工处理。椅子尽量采用没有背及脚踏板的。材料盒为放置材料用，因此材质以选择不易磨损不易发尘易清洁的材质。洁净室垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，放在维修区的固定位置，桶要有盖子，以利管制，并定期清理。真空吸尘器，其功能是在吸取洁净室内地板及设备上附着的尘粒或液体以防止这些尘粒的在飞扬，以达到清洁的目的。由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响洁净室的洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器。洁净室的运转管理

6、按照事先拟订规则和执行方法固然重要，但执行过程中的缺失查核及督导改进更不可免，此稽核责任一般均由管部门执行，每天随时做查核动作，一发现缺失须立即整改，达到所有的运作均能依照洁净室的运转原则来实施。一．环境支持系统管理在洁净室的环境支持管理方面，分三个部分加以说明：1.建筑物的维护管理:a.建筑物内定期检查清洁﹔　b.地板的清扫管理及损坏更新﹔　c.隔间墙及天花板检查清洁和封补﹔　d.窗户及门的保养等。2.环境测定与管理，洁净室内的运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握环境质量，遇有数据异常，可立即做紧急处理。3.空调设备的维护管理：

7、　a.温、湿度及尘埃浓度管理，测仪器应做定期校正检验。b.过滤网的管理:定期检查更换。c.空气调节器的管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况。d.FFU的管理：定期检查送风机运转状况。e.风管及出风口的管理，检查风管有否有灰尘堆积。f.室内压力管理,监视室内压力纪录，维持正压为基准。g.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔的管理需定期检查保养。h.洁净室停止运转后开机后立即进行微尘粒子的测试。