漏率检验工艺卡.doc

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1、真空绝热管漏率检验工艺卡编号:JY/QW01-2010版次:A/1.0第1页共3页1目的指导检验员进行漏率检测操作,确保制造的真空多层低温绝热管路真空漏率符合企标和GB18442-2001《低温绝热压力容器》的规定。2适用范围真空多层低温绝热管路(含内管、膨胀节)。3检验依据GB18442-2001《低温绝热压力容器》GB18443.3-2001《低温绝热压力容器试验方法—漏率测量》企标设计图样、制造工艺4检测仪器及辅助耗材4.1检测仪器氦质谱检漏仪、真空泵机组、真空计(在检定有效期内)。4.2辅助耗材氦

2、气瓶、工业氦气(纯度99.9%)、7501高真空硅脂、真空泥、喷枪、宽胶带、塑料罩、剪刀等。5检验前的准备5.1检验前熟悉产品图纸及工艺文件,确定检漏的时机(被检件的真空度≤1Pa)及被检件的漏率要求。5.2认真阅读检漏工艺及设备操作规程;检查确认检漏设备的完好性;检查确认检漏管路连接的密封性。5.3将检漏用的辅助耗材提前准备齐全,并预制好宽胶带和塑料罩。6氦质谱检漏仪的调校与使用6.1使用环境环境温度15~35℃仪器附近无强电磁场干扰,无剧烈震动;室内有良好的通风以避免氦气干扰;被检管路真空度<1Pa。

3、当检测环境不具备上述条件,且对检漏工作有明显影响时,不能进行检测。真空多层低温绝热管路漏率检验工艺卡编号:JY/QW01-2010版次:A/1.0第2页共3页6.2开机6.2.1参数设定工作压力10Pa聚焦245V发射0.35mA加速301V6.2.2校准确保检漏口已经装上专用堵头并锁紧,按下检漏键进入检漏状态,当检漏阀打开后按调零键进行调零,调零完毕后按下校准键并维持5秒以上,检漏仪开始自动校准,此时“校准”灯亮,自动校准完成。校准完毕后,如果漏率指数的数码管的小数点“亮”,表明当前灯丝信号小,此时应进

4、行调峰或者更换另一灯丝。若正常,漏率显示值与仪器随机检测报告值对比,主要是环境温度与检测报告温度对比,下降或上升1℃,漏率值会减低或升高3%。6.2.3自动调峰在检漏状态下(检漏口不加工件),按下“调峰”键5秒以上,“调峰”灯亮,检漏仪进行自动调峰,约3分钟后,“调峰”灯灭,“检漏”灯亮,调峰完毕,因自动调峰过程包含了校准操作,所以自动调峰完成后可不再进行校准操作。6.2.4必须等到显示面板上“系统正常”灯亮起后,才可以开始检漏工作。7漏率检测7.1依据被检件的情况可采用喷吹法检漏和氦罩法检漏(需制作氦罩

5、套在被检产品外表面)。特别注意被检测产品的真空度应达到1Pa。7.2将被检件通过适当的接头连接到检漏仪的检漏口上,确认密封连接可靠(必要时用真空封泥堵上);按检漏键对连接管路预抽,预抽完毕后检测口压力应显示在5Pa以内。7.3对与检漏口连接的管路、接头进行检漏,其漏率≤1×10-10Pa.m3/S。检漏合格后关闭检漏口处的真空阀,按放气键。7.4放气完毕后按检漏键开始检漏,缓慢开启与检漏口连接的真空阀,无异常反应后在缓慢开启与被检件连接的真空阀。若有异常需立即关闭真空阀。7.5用喷枪吹氦气或氦罩内充氦气对

6、被检产品进行检漏,此时注意氦气应缓慢少量释放。7.6检查顺序由近至远由上至下。7.7检查过程中若发现泄露需标识清楚,进行返修。返修完毕后再次进行检漏,直至漏真空多层低温绝热管路漏率检验工艺卡编号:JY/QW01-2010版次:A/1.0第3页共3页点消除为止。7.8检漏完成后将漏率读数记录在《氦质谱检漏检验记录》卡上。7.9记录完成后,先关闭与被检产品连接的真空阀,然后按放气键进行放气。当一批产品检漏完毕另一批产品需等待一段时间再检时,检漏仪在放气状态下静置不允许挪动。若不需要再检下一批产品,在放气状态下

7、关闭电源拆除连接管路和接头,静置5-10分钟后盖上检测口的封堵,推回检漏仪放置处。8氦质谱检漏仪的维护与保养依据。要保持检漏仪的正常工作和良好性能,应进行定期或必要的维护,并按下表处理。检漏仪维护日程内容时间漏率校准每次机械泵油面观测每周更换机械泵油必要时或每半年分子泵加注润滑油每年清洗分子泵必要时清洗质谱管必要时更换离子源必要时清洗组合阀必要时真空多层低温绝热管路漏率检验工艺卡编号:JY/QW01-2010版次:A/1.0第3页共3页点消除为止。7.8检漏完成后将漏率读数记录在《氦质谱检漏检验记录》卡上

8、。7.9记录完成后,先关闭与被检产品连接的真空阀,然后按放气键进行放气。当一批产品检漏完毕另一批产品需等待一段时间再检时,检漏仪在放气状态下静置不允许挪动。若不需要再检下一批产品,在放气状态下关闭电源拆除连接管路和接头,静置5-10分钟后盖上检测口的封堵,推回检漏仪放置处。8氦质谱检漏仪的维护与保养依据。要保持检漏仪的正常工作和良好性能,应进行定期或必要的维护,并按下表处理。检漏仪维护日程内容时间漏率校准每次机械泵油面观测每周

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