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1、XiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜生产线产品说明郭爱云工艺总工(材料学硕士)E-mail:Thinkergrace@126.comMobile:139073242722009.7湖南湘潭宏大真空设备有限公司Http://www.hdzksb.comXiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China透明导电膜市场种类：1、氧化锡类SnO2（掺锌氧化锡Zn:SnO2、掺锑氧化锡Sb:
2、SnO2和掺氟氧化锡F:SnO2等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、建筑玻璃和抗静电膜等膜层结构中作功能膜层；这类透明导电膜通常采用热喷涂的方法制备，适合玻璃在线喷涂沉积工艺。2、氧化锌类ZnO（掺镓氧化锌Ga:ZnO和掺铝氧化锌Al:ZnO等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、汽车建筑玻璃、液晶平板显示和场致发光平板显示以及加热防雾防霜透明膜中最功能膜层；此类透明导电膜通常采用离线磁控溅射沉积的方法，适合大面积沉积工艺。3、氧化铟类In2O3（掺锡氧化铟Sn:In2O3(ITO)、掺锌氧化铟Zn:
3、In2O3和掺镁氧化铟Mg:In2O3；常用于液晶平板显示、场致发光平板显示和其它面板显示领域；常用磁控溅射工艺沉积，适合大面积沉积工艺。XiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China说明：郭爱云E-mail：thinkergrace@126.comXiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China透明导电膜应用分析：目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITOCoatingGlass）、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃
4、（AZOCoatingGlass）和掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTOCoatingGlass）三种透明导电膜中，掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTOCoatingGlass）通常采用在线生产的方式进行生产，所以其生产商大都为浮法玻璃生产商，其生产线的投资巨大，并且具有很高的技术含量，不适合中小型企业和非玻璃生产企业进行投资；氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITOCoatingGlass）和掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZOCoatingGlass）都可以采用大面积磁控溅射的方式进行离线镀膜，并且由于氧化铟锡透明导
5、电膜玻璃（ITOCoatingGlass）是传统的平板液晶显示（FPD）行业生产设备，国内已经具有众多生产厂家，但是由于ITO导电膜不适合硅基非晶硅薄膜电池生产工艺，限制了其在太阳能领域的应用；只有掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZOCoatingGlass）具有既满足透明导电的技术要求，同时又具有大面积批量生产的价值，故目前掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZOCoatingGlass）生产线的建设已经进入了快速扩张时期。XiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan
6、,China说明：郭爱云E-mail：thinkergrace@126.comXiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜生产线连续磁控溅射镀AZO膜生产线整体结构说明制造厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司生产型号：HD-ILS-2009-6连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，第一部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；
7、三对采用PCU04闭路环控制的中频Si靶，形成高质量的隔离SiO2层；二十个/十对平面AZO阴极，采用中频电源/直流电源实现高质量的AZO透明导电膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可以优化到120秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计，生产线共配有43台涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。XiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China说明：郭爱云E-mail：thinkergr
8、ace@126.comXiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China连续磁控溅射镀AZO膜生产线生产厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司生产线类型：立式连续磁控溅射镀膜生产线卧式连续磁控溅射镀膜生产线XiangtanHongdaVacuumEquipmentCo.,Ltd,Hunan,China说明：郭爱云E-mail：thinkergrace@126.comXiangtanHongdaVacuumEqui
