BCB的制备及其对BNBW陶瓷微波性能的影响.pdf

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1、第36卷第2期压电与声光Vo1．36No．22014年O4月PIEZOEIECTRICS＆AC0UST()0PTICSApr．2014文章编号：1004—2474(2014)02—0252—03BCB的制备及其对BNBW陶瓷微波性能的影响贾瑞龙，苏桦，唐晓莉，荆玉兰(电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054)摘要：在不同条件下采用固相反应法合成BaCu(B。O；)(BCB)粉体，研究了所合成的BCB粉体对BaNb【)一BaWO(BNBW)陶瓷的微波介电性能的影响。结果表明，采用无水乙醇作为球磨介质，在800℃

2、煅烧可以得到无杂相的BCB。将BCB作为助烧剂，添加少量于BNBW陶瓷中，在950℃烧结时可有效促进陶瓷致密化。随着BCB的掺量增加，BNBW陶瓷的介电常数￡和谐振频率温度系数rf单调降低，而品质因数与频率之积Q×f值先上升后下降。当(BCB)=1时，BNBW陶瓷得到较好微波性能．￡r一19．0，Q×厂=33802GHz，r，=2．5×10／℃。关键词：固相反应；低温共烧陶瓷(LTCC)；复合陶瓷；微波介电性能；BaCu(BzO)(BCB)中图分类号：TM534文献标识码：ASynthesisofBCBandItsEffectonMi

3、crowaveDielectricPropertiesofBNBWCeramicsjIARuilong，SUHua，TANGXiaoli，JlNYulan(StateKeyLab．ofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China)Abstract：TheBaCu(B2O5)(BCB)powderwaspreparedbysolidstatereactionunde

4、rdifferentconditions．AndtheeffectofBCBpowderonthemicrowavedielectricpropertiesofBsNb4O15一BaWO4(BNBW)ceramicswasinves—tigated．TheresultsshowedthatBCBwithoutsecondaryphasecouldbeobtainedinuseofanhydrousethano1asball—millingmediumandbeingsinteredat80O℃．Addingasmallamountof

5、BCBinBNWBceramicsasasinteringaidcanpromotethedensificationofBNBWceramicseffectivelysinteredat950℃．WiththeincreaseofBCBcontent，thedielectricconstantofeandresonantfrequency-temperaturecoefficientofr，decreasedmonotonously．Mean—while，thevalueofQ×fincreasedfirstlyandthendecr

6、eased．When(BCB)was1，BNBwceramicspresentedgoodmicrowavedielectricpropertieswith￡一19．0，Q×，=33802GHzandr，一2．5×10／℃。Keywords：solidstatereaction；LTCC；compositeceramics；microwavedielectricproperties；BaCu(B2O5)(BCB)0引言另一方面，由于BaCu(BO)(BCB)陶瓷具有优异的微波性能(e，一7．4，Q×f一50000GHz，r，一随着低温

7、共烧陶瓷(LTCC)技术的兴起，将电子元件集成到一个多层结构中，缩小器件的体积，增一32×1O／℃)和低熔点(850℃)]，所以，BCB加器件的集成度，使模块功能多样化正成为一种趋被作为助烧剂广泛应用到LTCC工业中。据报道，势。用于LTCC微波器件的陶瓷材料最好具有低BCB已被作为Ba(Znl／3Nb2／3)O3l3j，Ba(Zn烧结温度、较高的介电常数e、高品质因数(品质因Ta2／3)O3Ⅲ、BaNd2Ti5o14L、BaSm2Ti4O12L及数与频率之积Q×f)和低谐振频率温度系数BaTiO。[6等多种微波陶瓷的助烧剂进行研究。

8、研(r，)[1]。根据报道，将BaNbo5陶瓷和BaWO陶究发现，BCB可使这些微波陶瓷的烧结温度降到瓷复合可得较好的微波性能：介电常数e一21，Q×950℃以下，同时保持良好的微波性能。然而，关于f一49500GHz，