無塵室量測相關準則[1]

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1、無塵室量測標準相關應用準則FED-STD-209E&NEBB無塵室量測標準相關應用準則FED-STD-209E&NEBBParticleCounter量測原理3~6FED-STD-209E無塵室潔淨度定義7FED-STD-209EParticleCounter取樣標準8~9FED-STD-209EParticleCounter取樣標準10ParticleCounterforParticle量測測試方法11ParticleCounterforHepaorUlPa洩漏量測測試方法12~13風速、壓差、溫溼度、照度、噪音、ESD等相關建議14~22Particlecoun

2、ter原理TypicalCounterComponentsSensorPumpCounterDataOutputPrinter/RS-232/4-20maDisplayPrinciples:LightScatteringLaserDiodePhotoDiodeMirrorParticleLightTrapSizingParticlesLargestDimensionMartinsDiameterFerretsDiameterProjectedAreaParticleOrientationProjectedAreaforthesameparticleFED-STD-2

3、09E無塵室潔淨度定義潔淨度測試之目的是驗證無塵室之等級，是無塵室測試中最重要的項目。其測試方式與儀器設備等在美國聯邦標準209E有詳細規定，本節說明測試方法之相關規定及測試結果。潔淨度定義潔淨度之定義如下表，潔淨度測試之結果應與該表比較，然後定義該無塵室之潔淨度。每個潔淨度都有一組相對應之微粒含量允許濃度。任一濃度值之數字代表在單位體積之空氣樣本中，大於或等於其所指定之粒徑之允許粒子數。例如表二中，英制等級100，以0.3μm為基準，其數值是每立方英尺300個，表每立方英尺之空氣樣本中，粒徑大於或等於0.3μm之微粒，不得多於300個。因此在開列潔淨度之規格時，除

4、等級外，還應指出所使用之粒徑，使用粒徑可以超過一種。表示法為：Class100(0.3μm)，或是ClassM2(0.2μm，0.3μm，0.5μm)等。潔淨度之等級，並不只限上表所列。使用者可依自己之特殊需求，自定介於表二等級之間的中間等級，如Class5O、Class300、ClassM3.2等。FED-STD-209E量測點面積測試標準◎Samplelocationandnumber取樣測試程序潔淨度測試屬於抽樣測試，做法是在潔淨室內抽一部份空氣樣本，分析其粒子含量，結果就代表該潔淨室之潔淨度。在測試開始前，無塵室應該已經清理乾淨，空調系統及過濾系統等都正常運

5、轉一段時間，並且由建造商或使用者本身作過初步量測，已能達到使用者所訂之規格時，才交由公正第三者作正式的無塵室認證。測試之第一步是計算格點(取樣點)數目及位置。為使取樣公正，Fed-Std-209E採用平均分佈方式，將潔淨室劃分為等面積格點，在每個格點中心虛取樣。等級愈高之潔淨室，其格點愈密，格點數之計算公式如下。A.層流型無塵室之格點數應是以下(a)或(b)中較小著。(a)SIunit公制：A面積/2.32面積之單位是平方公尺Englishunit英制：A面積/25面積之單位是平方英呎A為無塵室面積，適合用在class1~100(b)SIunit公制：SIunit:

6、A*64/(10M)0.5(m2)M:若Class1000=M4.5>M=4.5面積之單位是平方公尺，M是公制之等級Englishunit英制：A/(Nc)0.5(ft2)面積之單位是平方英呎，Nc是英制之等級Nc:若Class1000>Nc=1000A為無塵室面積M及Nc分別為無塵室等級，適合用在class1,000~100,000求出值即為需量測點數B.非層流型無塵室之格點數計算方式如下。SI公制：面積×64/(10^M)^0.5面積之單位是平方公尺，M是公制之等級Englishunit英制：面積/(Nc)^0.5面積之單位是平方英呎，Nc是英制之等級以上之計算

7、若出現小數，應使用無條件進位法進位。並且每個無塵區域之格點不可少於兩點。每一格點之取樣數應至少一次但不必只有一次，不同格點之取樣次數可以不一樣，次數愈多愈準確，每個無塵區域之取樣總數不可少於5次。FED-STD-209E量測點面積測試標準◎NumberofSamplesRequired1.每一面積Area必需至少量測兩個Location2.每個Location至少測一次3.每個Area(Room)至少要有五次samples以上NumbersofLocations&SamplesRequiredperCleanroomArea面積L=Locations=Lesso