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1、附件5．机械科学与工程学院全英研究生课程简介（中文）课程名称：微纳测试技术课程代码：100.574课程类型：□博士专修课程█硕士专修课程考核方式：全英文考试教学方式：全英文讲授适用专业：机械制造及自动化、机械电子工程、精密仪器、精微工程等适用层次：█硕士█博士开课学期：秋季总学时：32学分：2先修课程要求：无课程组教师姓名职称专业年龄学术方向刘世元教授机械电子工程42微纳测试及制造汤自荣教授材料科学与技术44微纳制造及测试课程负责教师留学经历及学术专长简介：刘世元：2000.2-2001.2访问学者UniversityofManchest
2、er,Manchester,England.研究方向：先进光刻与纳米测量汤自荣:1997.09-1999.07化学工程硕士，ClarksonUniversity,NewYork,USA；1999.09.2001.09材料科学与工程博士，UniversityofCalifornia,Irvine,USA研究方向：微纳制造及测试技术，MEMS/NEMS及微纳传感器等器件课程教学目标：微米纳米科学技术是20世纪末兴起的、21世纪初快速发展的高科技交叉前沿领域，微纳测试技术则是微纳科技的重要组成部分，对于微纳材料的发展、微纳器件和微纳系统的研究与
3、开发具有十分重要的意义。随着微纳科学技术的飞速发展，在生物、化工、材料、微电子、微机械等领域遇到越来越多的关于材料和被加工物体表面几何尺寸、轮廓形貌、理化特性表征、以及微观物质（包括分子、原子、细胞、组织）相互作用分析表征等微纳测试技术问题。随着微纳产品的市场日渐扩张，社会对微纳测试技术人才的需求也日益增多。本课程是讲授微纳测试技术及其应用的一门专业课，其目标是向研究生提供微纳测试计量技术的基础知识和应用经验。课程包括四部分内容：一是简要介绍微纳测试技术的意义、特点和研究的内容；二是介绍微纳几何量测试技术的光学方法，讲述各种方法的原理、光
4、学测量系统的结构及应用；三是介绍微纳力学量测量的纳米压入方法，讲述该技术的原理、方法、仪器及各种典型应用；四是介绍微纳系统典型特征参数的测试技术及应用，包括微纳尺度的几何量、表面粗糙度与表面微观形貌、微纳材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等的测量。课程大纲：（章节目录）第一章绪论1.1MEMS技术简介1.2纳米技术简介1.3微纳测量技术的特点及主要任务1.4课程学习的主要内容第二章微纳几何量测试技术2.1光学显微镜2.2光学干涉仪2.3光谱椭偏仪2.4其他光学测量技术2.5电子显微镜2.6扫描隧道显微镜2.
5、7原子力显微镜第三章微纳力学量测试技术3.1纳米压入测试原理3.2纳米压入测试方法3.3纳米压入测量仪器3.4力学参数的测量3.5在表面工程的应用3.6在微纳系统中的应用3.7在生物工程中的应用第四章微纳测试其他技术4.1断裂强度测试方法4.2弹性模量测量4.3微型材料的拉伸测试方法4.4微摩擦测量技术4.5MEMS快速可靠性评估方法全英文教材：1.ToruYoshizawa.HandbookofOpticalMetrology:PrinciplesandApplications.Taylor&FrancisGroup,2009主要参考书
6、：1.KjellJ.Gӓsvik.OpticalMetrology,3rdEdition.JohnWiley&SonsLtd,20022.SelectedPapersfromJournalsandConferenceProceedings.附件5．机械科学与工程学院全英研究生课程简介（英文）课程名称：微纳测试技术课程代码：100.574课程类型：□博士专修课程█硕士专修课程考核方式：全英文考试教学方式：全英文讲授适用专业：机械制造及自动化、机械电子工程、精密仪器、精微工程等适用层次：█硕士█博士开课学期：总学时：32学分：2先修课程要求：
7、无课程组教师姓名职称专业年龄学术方向刘世元教授机械电子工程42微纳测试及制造汤自荣教授材料科学与技术44微纳制造及测试课程负责教师留学经历及学术专长简介：刘世元：2000.2-2001.2访问学者，UniversityofManchester,Manchester,UK研究方向：先进光刻与纳米测量汤自荣：1997.09-1999.07化学工程硕士，ClarksonUniversity,NewYork,USA1999.09.2001.09材料科学与工程博士，UniversityofCalifornia,Irvine,USA研究方向：微纳制造
8、及测试技术，MEMS/NEMS及微纳传感器等器件Objectsofthecourse:Withtherapiddevelopmentofmicro/nanotechnology,micro/n
