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时间：2020-05-14
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1、硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究1引言ZnO是一种新型六方纤锌矿结构的,表面有明显晶界和微小孔间隙的半导体材料，具有无毒性、低价、储量丰富和优异的光电性能等优点。探讨ZnO薄膜的表面形貌、晶体结构和硅衬底的绒面结构对其光电转化特性的影响。2实验2.1ZnO异质结太阳能电池的制备①采用半导体工艺对硅片进行处理②利用磁控溅射技术对材料进行直流磁控溅射③形成硅基铝掺杂氧化锌异质结④制备出太阳能电池2.2表征与测试3.1硅衬底绒面处理前后表面形貌SEM分析图1硅单晶衬底的SEM照片3结论与分析3.2硅衬底绒面处理前后的反射
2、率分析3.3XRD分析3.4氧化锌薄膜表面形貌SEM分析3.5I～V特性分析4结论（1）单晶硅衬底的(111)晶面，在KOH／NaOH混合水溶液中进行绒面处理后，形成形貌不规则的绒面结构，对入射光的吸收能力有明显提高；（2）实验中制备的ZnO膜为多取向的六方纤锌矿结构，表面有明显的晶界和微小孔间隙；铝掺杂能抑制ZnO晶粒直径的增加；（3）硅基ZnO异质结太阳能电池具有较好的光电性能，硅基绒面处理对太阳能电池的光电性能有明显的提高。谢谢！
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