基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统.pdf

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1、第26卷第10期传感技术学报V01．26No．1020l3年10月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS0ct．2013ChipFabMonitoringSystemBasedonWirelessSensorNetworksTIANYong，TANGZhenan，YUYah(1．DalianUniversityofTechnology，SchoolofElectronicScienceandTechnology，DalianLiaoning116024，China；2．DalianNeta~0／}UniversityofInform

2、ation，DepartmentofElectronicEngineering，DalianLiaoning116024，China)Abstract：Forthestringentrequirementsofchipmanufacturersabouttheenvironmenttemperature，humidity，pressure，andcleanliness，chipmanufacturingcleanroomenvironmentmonitoringsystembasedonwirelesssensornetworksisdesigned．Thesys

3、temconsistsofexistinghardwareandsoftwarecomponentsoftheproposedroutingalgo—rithm．Thesystemistestedintheactualchipmanufacturingcleanroom．Theresultsshowthatthesystemcannotonlymonitorthechangesofenvironmentparametersinchipmanufacturing，butalsoensuretheeffectivenessandbalanceofenergyconsu

4、mptionforsensornodes．Keywords：wirelesssensornetworks，monitoringsystem，routingalgorithm，chipmanufacturingenvironmentEEACC：6150P；6210doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2013．10．019基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统水田勇，唐祯安，喻言(1．大连理T大学电子科学与技术学院，辽宁大连116024；2．大连东软信息学院电子丁程系，辽宁大连116024)摘要：针对芯片生产企业对环境温度、湿度、气压、洁净度等

5、指标的严格要求，设计了基于无线传感器网络的芯片生产超净问环境监测系统。系统由已有的硬件部分和提l叶J路由算法的软件部分构成，通过在实际的芯片生产超净问进行测试，验证了该系统不仅能够实时监测片生产企业环境参数的变化，而且能够保证传感器节点能量消耗的有效性和均衡性．．关键词：无线传感器网络，监测系统，路南算法，芯片生产环境中图分类号：TP393文献标识码：A文章编号：1004—1699(2013)10—1414—06生产监控系统¨中的一项重要内容就是生产线数据传输，验证了提出的室内无线传感器网络路环境的监控J。在各类矿井、化工厂、天然气站、危由算法的能量有效性和均衡性

6、，为生产企业监控环险品仓库等场所，实时监测环境中的有毒、有害、可境变化提供了一种有效的解决方案。燃和易爆气体等的含量，实时监测环境的温度、1实验环境湿度、气压等指标。J，监测地下巷道支撑物及建筑结构的受力变形等情况j，对于确保安全生产是非集成电路芯片生产设备必须在超净环境下存放常重要的。在芯片生产J、制药¨。。等企业中，实时和运行，对环境的温度、相对湿度、压差、照度等指标都有严格的要求。按照国家洁净厂房设计规范_】，监测生产环境的温度、湿度、气压、洁净度等指标，并确保这些指标在规定的范围内，是保证产品质量的以及洁净室施工和验收规范_】的要求，洁净室的温、必要条件。

7、湿度范围应符合表1的规定_】；洁净室与非洁净室本文针对芯片生产企业对环境温度、湿度、气之间的静压差应大于10Pa，相邻不同洁净度级别洁压、洁净度等指标的严格要求，结合提出的室内无线净室之间的静压差应大于5Pa，洁净室与室外静压差传感器网络路由算法，设计了芯片生产企业超净间应大于12Pa¨；无采光窗洁净区工作面上的照度环境监测系统，并在芯片生产超净问进行了实验测值，不应低于表2规定的数值¨。其中一般照明是试，测试结果表明该系统实现了稳定可靠的室内无指单独使用的一般照明；混合照明的最低照度是指实项目来源：国家自然科学基金项目(61131004，51108060)；辽宁

8、省教育厅科