奥宝LDI激光成像曝光技术于HDI的应用.pdf

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1、LDI–最先进的直接成像曝光解決方案GarretLiuJune2012Confidential-ConfidentialOrbotechLDI–市场领导者全球装机量=681431Paragon76DP-100SL125Paragon-Xpress2DP-10047Paragon-Ultra欧洲(105)亚太(392)北美(105)日本(79)76Paragon218Paragon83Paragon5Paragon-Xpress109Paragon-Xpress54Paragon2Paragon-Ultra4Paragon-Ultr

2、a34Paragon-Ultra9Paragon-Xpress19DP-100SL19DP-100SL29DP-100SL7Paragon-Ultra1DP-1001DP-1009DP-100SLEndofQ1/2012Confidential-2PCBProductionSolution亚太地区LDI韩国(98)392Systems13DP-100SL华东&华北(81)44Paragon3DP-100SL11Paragon-Ultra49Paragon30Xpress24Xpress5Paragon-Ultra台湾(87)7DP-100S

3、L华南&华西(110)42Paragon6DP-100SL12Paragon-Ultra72Paragon26Xpress印度(1)4Paragon-Ultra28Xpress越南(3)1Paragon1Paragon2Xpress9新加坡(12)2DP-100SLEndofQ1/20127Paragon3UltraConfidential-3应用电子市场–应用在增加，尺寸在减小•更高的密度•更高的可靠性要求Confidential-HDI来自市场的挑战任意层互连3-4阶增层板叠盲孔设计BGApitch：0.4mm;最终线宽/间距

4、：40µmCoreLayerConfidential-OrbotechLDI技术特点简介ParagonLDI对位技术与涨缩ParagonLDI自动化解决方案Paragon系列简介OrbotechLDI售后服务Confidential-LDI制程与传统制程比较传统制程Total250-300分钟30min.10min.15min.25min.5min.10min.x2x2LDI制程Total5分钟节省相应制程的物料、时间2min.3min.Confidential-LDI工作原理概述OPFX光栅数据处理355nmUV固体激光器Orbotech

5、专•24英寸大尺寸光学设计，一次扫描成像利技术-LSO•±300um焦点深度动态的快速•在线的UVMarker内层对位CCD对位系统•多种涨缩模式支持现场应用Confidential-LSO™技术大镜面扫描光学设计(LSO)•源自Jenoptik–Jena,德国•超过150年经验的光学专家•光源波长：355nm（i-line)Optics•高效率光学设计，60%能量可达板面•焦深±300um：长路径激光调制实现24英寸大镜面扫描，一次完成完整图像，单一图像源无接缝问题Confidential-大焦点深度的光学设计：±300µm保证在起伏不平

6、的板面上曝光出均匀一致的线路Confidential-料号切换，仅需鼠标拖拽切换时间仅需30秒Confidential-Genesis—LDI无缝整合安全快速应用LDI数据格式与GenesisCAM离线设定，自动数CAM内定义多种生产应相同的结构据转换用，LDI动态实现自动转换图像数据，应用输出OPFX动态实现Confidential-应用举例-Stamp可追溯标识:PanelnumberPCBcontinuouslyPCBseparatelyDateandTimeMachineID工艺参数标识涨缩系数字符、条形码:1

7、D2D/DataMatrixCode(DMC)Confidential-13PCBProductionSolutionsOrbotechLDI技术特点简介ParagonLDI对位技术与涨缩ParagonLDI自动化解决方案Paragon系列简介OrbotechLDI售后服务Confidential-LDI–卓越的对位涨缩能力底片曝光LDI曝光图形对比切片对比层间位移达80µm3+2+3增层效果Confidential-15PCBProductionSolutions开放靶标集合，支持所有曝光制程靶标集合……Confidential-内层对

8、位，无需靶标制备-UVMarker台面上的UVmarkerConfidential-复合靶标-同时补偿机械孔、激光孔偏差–以激光孔对位同时补偿LDI曝光–50%机械孔，50%激光