超纯水概述课件.ppt

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1、——206超纯水工艺超纯水概述2021/7/28超纯水的定义及标准超纯水是把水中的导电介质几乎完全去除，又把水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ.cm或接近18.3MΩ.cm（25℃）。2021/7/28超纯水制备的工艺方法现在的超纯水制备采用了预处理、电渗析（EDI）紫外线杀菌、反渗透（RO）、离子交换及各种膜过滤技术等。其工艺大体可分为预处理、脱盐、精处理三步。预处理：包括多介质过滤、活性炭过滤，过滤去除水中1～20μm大小的颗粒及除去有机物和自由氯。脱盐：包括离子交换、反渗透（RO）、电渗析

2、（EDI）等方法，去除水中绝大多数离子。如电渗析（EDI）脱盐率可达到95%以上。反渗透（RO）脱盐率可达98%，并能去除99%细菌颗粒和溶解在水中的有机物。精处理：包括抛光树脂、TOC装置、微过滤（0.22μm）或超滤等。2021/7/28超纯水常见的工艺流程预处理→复床→混床→抛光混床预处理→反渗透→混床→抛光混床（206超纯水）预处理→反渗透→电渗析（EDI）→抛光混床（103超纯水）用RO反渗透替代离子交换脱盐，进一步除去有机物、胶体、细菌等杂质，并能保证反渗透出水满足EDI进水要求，以EDI代替混床进行深度脱盐，利用电能从而

3、避免了树脂再生，非常环保，这种工艺是现今主流的水处理方法。2021/7/28206超纯水工艺流程及设备工艺流程图：原水（10兆纯水）→超纯水箱（24m³）→超纯水泵（2台）→TOC机（2台）→核子级混合离子交换器（4个抛光混床）→微孔膜过滤器（0.22μm2个）→换热器（加热调温）→用户→循环回水进超纯水箱超纯水精处理的主要设备：氮封水箱、超纯水泵、TOC机、核子级离子交换器、微孔膜过滤器、板式换热器组成。抛光混床内填美国陶氏公司生产的超纯水级均粒树脂（MR450），一次使用，不可再生。2021/7/28原水、产水水质标准原水（10M

4、纯水）水质：电导率：≤0.1μs/cm（25℃）二氧化硅：≤20μg/LPH：6.6～7.4温度：≥20℃产水水质（18M超纯水）水质：电导率：≤0.1μs/cm（25℃）二氧化硅：≤20μg/L温度：≥25±2℃颗粒度：大于0.5μm的颗粒≤0.01个/mLTOC：≤100μg/L2021/7/28206超纯水供水要求供水流量：≥35m³/h供水压力：≥0.40MPa2021/7/28206超纯水简介超纯水箱及进水装置水箱选用FPR材质，容积约32m³（有效容积24m³），要求原水进水流量≥50m³/h，超纯水箱主要起到缓冲与平衡作

5、用。超纯水箱进水管安装有自动进水阀及旁通管路，安装有氮气减压阀及旁通管路，安装有氮气排放去室外管道，安装有氮气水封装置。在超纯水箱加装氮封装置利用氮气是惰性气体的原理，防止二氧化碳、细菌等其它物质融入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而水质下降。2021/7/28超纯水泵超纯水泵采用2台立式多级泵，变频运行，一用一备。型号：CRN64流量：64m³/h扬程：70m功率：15KW材质：SS315L制造商：格兰富2021/7/28除TOC机TOC机紫外线灯管波长为1850Å，主要用于分解水中的有机物。原理如下：TOC+UV→CO₂+

6、H₂O其作用于水，会产生如下反应：H₂O+UV→H++OH-所产生新生态羟基（氢氧基）帮助氧化分解水中的碳水化合物，在足够的照射剂量照射下，绝大部分有机物被分解成二氧化碳和水，水中残留TOC低至ppb级。规格：≥25m³/h2021/7/28核子级离子交换混床核子级离子交换树脂进一步交换纯水中的阴阳离子。规格：Φ600×2200mmH材质：FRP抛光树脂一般用于超纯水系统的末端，来保证出水水质能够维持用水标准。抛光树脂是由氢型强酸性阳离子交换树脂和氢氧型强碱性阴离子交换树脂混合而成。2021/7/28微孔膜过滤器规格：≥25m³/h材

7、质：SS316L过滤精度：0.22μm滤芯：30″尼龙2021/7/28板式换热器用蒸汽对超纯水进行加热，供水温度25±2℃。材质：SS316生产商：Alflafa2021/7/28超纯水总出口总出口安装有流量计、压力仪、电阻率仪、温度仪、TOC自动检测仪和PH等在线检测仪表。2021/7/28超纯水操作程序及控制系统水箱自动进水阀、超纯水泵和TOC机可自动运行；水温自动调节。核子级离子交换装置、出口阀常开。欧姆龙PLC和上位计算机+InnTouch组态软件监控。206值班室可以中央监控。控制系统中，程序的任务主要是超纯水箱液位的自动

8、控制、补水自动阀与水箱液位的连锁、超纯水泵变频器与总出口压力的连锁。2021/7/28超纯水箱补水的控制超纯水箱液位低于0.5m，超纯水泵保护停机；超纯水箱液位低于0.7m，超纯水泵低位报警；超纯水箱液位低于2.7m，超