单晶炉操作说明.pdf

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1、．全自动单晶炉操作手册REV.MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYUJINGSHENGM&EENGINEERINGCO.,LTD目录第一章单晶生长条件…………………………………………………………………………21.1设备要求…………………………………………………………………………………21.2辅料要求…………………………………………………………………………………31.3安全要求…………………………………………………………………………………4第二章单晶生长标准流程………………

2、…………………………………………………52.1拆炉………………………………………………………………………………………52.2装炉………………………………………………………………………………………62.3开始单晶的生长…………………………………………………………………………82.4抽真空……………………………………………………………………………………92.5检漏………………………………………………………………………………………112.6压力化……………………………………………………………………………………122.7熔料………………………………………………………………

3、………………………132.8稳定化……………………………………………………………………………………152.9熔接………………………………………………………………………………………162.10引晶……………………………………………………………………………………182.11放肩……………………………………………………………………………………192.12转肩……………………………………………………………………………………202.13等径……………………………………………………………………………………212.14收尾…………………………………………………………………………

4、…………222.15停炉……………………………………………………………………………………23第三章单晶生长辅助流程…………………………………………………………………243.1中途取晶…………………………………………………………………………………243.2回熔………………………………………………………………………………………263.3煅烧………………………………………………………………………………………263.4大清………………………………………………………………………………………273.5连接部位检查……………………………………………………………………………27第

5、四章相机调整与热场温度校正…………………………………………………………284.1相机调整…………………………………………………………………………………284.2热场温度调整……………………………………………………………………………32第五章异常情况处理…………………………………………………………………………335.1断水………………………………………………………………………………………335.2电极故障…………………………………………………………………………………335.3打火………………………………………………………………………………………33附录故障速查………

6、………………………………………………………………………34第-1-页第一章单晶生长条件1.1设备要求1.1.1运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软

7、水为好。连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。（2）压缩空气要求气压：≥7公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。流率：≥2.5升每秒；汽缸容积：主真空球阀：2升；辅助真空球阀：0.5升。（3）电力要求相制：3相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。配电柜应装有500V、400V的空气开关，和380V/400A的隔离开关。（4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTorr/hr。（热场已经煅烧完全）1.1.2日常维护（1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查

8、坩埚轴的冷