明昕ESD防静电培训课件.ppt

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1、静电防护培训教材JennyNov7th,2007內容提要※ESD简介※ESD的模式※ESD的影响※ESD防治专业词汇介紹※防/抗静电材料定义※ESD防治基本方法ESD简介※ESD产生的原理?静电荷的产生与积累静电荷的快速释放ESD:Electrostaticdischarge影响摩擦生电电量的因素摩擦频率物质材料相对湿度接触面积常用的数量级符号数量级全名符号1012TeraT109GigaG106MegaM103KiloK10-3MilliM10-6Microμ10-9NanoN10-12PicoP典型的ESD电压静电的产生静电电压(KV)相对

2、湿度20%相对湿度80%走动于乙烯材质的地板上120.25走动于人造地毯351.5坐离发泡椅垫181.5拿起聚乙烯塑料袋200.6在地上滑动苯乙烯材质的箱子181.5移除PC板上的MYLAR胶带121.5PC板上的收缩膜163真空吸锡器作业81喷电路冷凝喷雾剂155ESD的模式※人体带电模式(HumanBodyMedel,HBM)※机器带电模式(MachineModel,MM)※元件带电模式(CharagedDeviceModel,CDM)(MachineModel,MM)※70年代,日本人认为HBM不足以代表worst-case而提出,是用于

3、自动组装的制造环境MM的电容值较HBM大,因此MM儲存的电荷较多R很小因此电流较大,速度较快(CharagedDeviceModel,CDM)※现代自动化组装环境中最重要但却常被人忽略的ESD模式--原理简单，但再现困难--速度快，难保护※CDM的来源--测试设备--SMT--IC的包装静电發生源介紹静电的产生，最容易者莫過于摩擦生电，其所产生的电荷稱为〝摩擦电荷〞，摩擦作用实際上也是由兩物件之接触与分离所造成，而分离时所产生之电荷，更大于接触时，此由于分离时之电容遽然減少，而导致电壓之突然增高。静电發生源介紹材料的分离速度、摩擦力、空气濕度的

4、高低和材料種類都能响因摩擦而产生的静电量。事实上，摩擦生电的現象在适当的情況，任何物質与其他物質摩擦後都會帶有电荷，而這種現象均足以使电子工业造成相当地損害。静电破壞产品模式人件帶电模式元件帶电模式机器帶电模式静电破壞产品模式人件帶电模式人件放电模式(HBM)的ESD是指因人件在地上走动磨擦或其他因素在人件上已累积了静电，当此人去碰触到IC时，人件上的静电便會經由IC的腳(pin)而进入IC內，再經由IC放电到地去，如圖所示。此放电的過程會在短到幾百毫微秒(ns)的时間內产生數安培的瞬間放电电流，此电流會把IC內的元件給燒毀。静电破壞产品模式元

5、件帶电模式此放电模式是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累积了静电，但在静电累积的過程中IC并未被損傷。此帶有静电的IC在處理過程中，当其pin去碰触到地面时，IC內部的静电便會經由pin自IC內部流出來，而造成了放电的現象。IC自IC管中滑出後，帶电的IC腳接触到地面而形成放电現象。静电破壞产品模式机器放电模式(MM)由于机器接地不良，在机器做电气性或机械性动作时，因电场變化或机械摩擦在机器內部产生静电荷，当IC曝露在机器內时，可能因感应或接触造成静电流入IC，在短短1OnS內損及IC。ESD的三种模式比较※HBM与MM—人体，机器或环境带

6、电--HBM是最古老且最常发生的模式，但并非最严重的危害模式--MM造成的故障与HBM类似但电压却远低于HBM,速度也比HBM快※CDM—元件带电--模拟一带电元件经由一脚接地而放电的现象造成ESD故障的主要原因--电流上升时间最快静电放电防制措施介紹.静电防护的标准工作环境：一个安全的工作区域，包含所有絕緣性物件不得存在有足夠破壞元件的电荷，所以整个工作区域需具备：.完整的导电材料及接地系统。.适当的离子化空气产生器。静电放电防制要求人员工作场所机器設备包裝材料静电防制要求(人員)人員：所有人員进入EPA(ESDProtectiveArea)

7、均应依規定穿著或配戴静电防护服裝/裝备。区域服裝規定洁净室连身静电服、静电帽、頭罩、口罩、静电鞋、静电手环、(手套或指套必須时)其它作业区袍式静电服、静电帽、静电鞋、静电手环、(手套或指套必須时)静电防制要求机台設备：所有机台、設备等都須注意静电防护，其机台、設备外壳应做硬接地。包裝材料：静电防制要求---ESD防护的标示ESD防护的标示內有静电敏感元件静电管制区域此产品或区域內为ESDS元件，拿取时必須做好防护措施，并可加以分級(此标示不可使用紅色)ESD的影响※ESD事件----因局部高温或电位差造成ESDS的元件破坏※可能发生在制程中或使

8、用中的任何阶段※成本问题，客户抱怨，商誉损失ESDS:ElectrostaticdischargesensitiveESD防治专业词汇介紹※ESDS(