薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt

薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt

ID:57033658

大小:463.00 KB

页数:28页

时间:2020-07-27

薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt_第1页
薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt_第2页
薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt_第3页
薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt_第4页
薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt_第5页
资源描述:

《薄膜材料的表征方法(一)课件.ppt》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在教育资源-天天文库

1、薄膜材料的表征方法(一)ANALYTICALTECHNOLOGIESOFTHINFILMS(1)谭永胜2004.11.1AbstractIntroductionGeneralideaandcategoryX-raydiffraction(XRD)X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)Introduction薄膜(thinfilm)材料是相对于体材料而言的,是人们采用特殊的方法,在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。Introduction在各种薄膜制备与使用过程中,普遍关心以下几个方面:(1)薄膜的厚度测量;(2)薄膜结构和表面形

2、貌的表征;(3)薄膜成分的分析。对于不同用途的功能薄膜材料,还需测量其电学、光学、声学、力学、热学、磁学等性质。GeneralideaandcategoryGeneralidea:beaminandbeamout。通过探测出射粒子流的强度分布以及qm、E、θ、φ等参数来分析样品的性质。GeneralideaandcategoryA:elasticorinelasticscattering.B:emittedparticlesfromthesample.GeneralideaandcategoryGeneralideaandcategoryGeneralideaandcategoryAE

3、S(Augerelectronspectroscopy)俄歇电子能谱LEED(lowenergyelectrondiffraction)低能电子衍射MEED(mediumenergyelectrondiffraction)中能电子衍射RHEED(reflectionhighenergyelectrondiffraction)反射高能电子衍射RBS(Rutherfoldbackscattering)卢瑟福背散射SEM(scanningelectronmicroscopy)扫描电子显微镜SIMS(secondaryionmassspectroscopy)二次离子质谱TEM(transmiss

4、ionelectronmicroscopy)透射电镜UPS(ultra-violetphotoelectronspectroscopy)紫外光电子谱XRD(x-raydiffraction)X射线衍射XPS(x-rayphotoelectronspectroscopy)X射线光电子谱STM(scanningtunnelmicroscopy)扫描隧道显微镜AFM(atomicforcemicroscopy)原子力显微镜GeneralideaandcategoryDepth:ellipticalpolarizationStructure:XRD、LEED、RHEED、TEMCompositi

5、on:XPS、UPS、AESSurfacetopography:SEM、SPMOptics:UV-VisElectricity:Hall、I-V、C-VX-raydiffractionTheprocessofX-ray.EX-raydiffractionX-raydiffraction布喇格定律:Cu原子Kα线:X-raydiffraction对不同的晶体,其晶体结构和原子间距不同,因而晶面间距也不同.X-raydiffraction右图为晶面指数示意图,对立方晶系:X-raydiffractionXRDspectraofKBrpowderX-raydiffractionXRDspect

6、raofZnO(002)peakdepositedonglass.2θ=34.40,accordingtoZnO(002)peakX-raydiffractionTheintensityofthepeakX-raydiffractionScherrerequation:ThefullwidthathalfmaximumX-raydiffractionThestrainandstressalongthec-axis:X-raydiffractionX-raydiffraction小结用途:分析晶体结构。原理:Bragg定律。特点:a.可分析晶体取向以及结晶程度。b.空间分辨本领较低。X-r

7、ayphotoelectronspectroscopyPhotoelectriceffect:ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis(ESCA)X-rayphotoelectronspectroscopyAtypicalspectrumofsilver.X-rayphotoelectronspectroscopyTheintensityofaXPSpeakisgivenby:Relativea

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文

此文档下载收益归作者所有

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文
温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,天天文库负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。