行业标准：GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf

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1、ICS31．200L55园亘中华人民共和国国家标准GB／T26111—2010微机电系统(MEMS)技术术语Micro—electromechanicalsystemtechnology——Terms201卜01—10发布2011—10—01实施宰瞀髅紫瓣警矬瞥鐾发布中国国家标准化管理委员会“1”前言⋯⋯·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··1范围⋯⋯⋯⋯⋯·⋯⋯⋯⋯2规范性引用文件⋯⋯·⋯⋯3术语和定义⋯⋯⋯⋯⋯⋯t3．1综合性术语⋯⋯⋯⋯·3．2科学与工程术语⋯⋯·3．3与材料相关的术语⋯·3．4与设计相关的术语⋯-3．5与加

2、工工艺相关的术语3．6封装与组装术语⋯⋯⋯3．7测量技术术语⋯⋯⋯⋯3．8与器件相关的术语⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯索引·⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯--汉语拼音索引··⋯⋯⋯⋯⋯⋯·英文对应词索引⋯·⋯⋯⋯⋯·，目次GB／T26111—2010Ⅲ，●，●004，如”拍毖∞龃盯GB／T26111—2010前言本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(sAC／Tc336)提出并归口。本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学

3、、中北大学。本标准主要起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。www.bzfxw.comⅢwww.bzfxw.com1范围微机电系统(MEMS)技术术语GB／T26111—2010本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文

4、件。GB／T2900．662004电工术语半导体器件和集成电路(IEc60050一521：2002，IDT)3术语和定义3．1综合性术语3．1．1微机电系统micro-electromech粕icalsystems，MEMs微系统microsystem微机械micromachine关键(部件)特征尺寸在亚微米至亚毫米之间，能独立完成机电光等功能的系统。注1：微机电系统一般包括微型机构、微传感器、微执行器、信号处理和控制、通讯接口电路以及能源等部分。注2：微机电系统通常需要多学科领域技术的综合应用，例如机、电、光、生

5、物等多种领域。注3：MEMs主要在美国使用，微系统主要在欧洲使用，微机械主要在日本使用。3．1．2微机电系统技术micro_electromechanicalsystemtechnologiesMEMs技术实现微机电系统的技术。3．1．3微科学与工程micr俨scienceaⅡdeⅡ出ne盯ing针对于微机电系统的微观科学与工程。注：随着微机电系统构件尺寸的减小，许多物理特性发生了变化。主要有两类情况：1)这些变化有时可以由宏观世界的变化推断出来；2)随着微观效应的增强，使得这种推断变得不可能。对于后者，我们不仅要

6、建立新的理论和经验公式来解释微观世界的现象，而且需要研究新的工程分析和归纳方法。可以针对微机电系统开展材料学、流体力学、热力学、摩擦学、控制工程、运动学等微观科学的系统研究。3．1．4生物MEMsbio_MEMS与生物或生物医学技术相结合的MEMS。[IEc62047—1：2005，定义2．8．1]】GB／T26111—20103．1．5射频MEMsradiofrequencyMEMs，RFMEMs与无线通信技术相结合的MEMs。3．1．6微光机电系统micro-optica卜electr蛐icmechanical

7、systems，MoEMs与光学技术相结合的MEMs。3．2科学与工程术语3．2．1尺寸效应scaleeffect由于物体尺寸的变化而导致各方面的性质和特性发生改变的现象。3．2．2表面效应surfaceeffect由于物体尺寸变小，表面积与体积比增大，而导致物体表面的性质和特性发生改变的现象。3．2．3粘附stictioⅡ因表面张力或静电力等使微结构附着于基底或其他结构体的现象。3．2．4防粘附antistjction避免发生粘附现象。3．2．5www.bzfxw.com亲水性hydrophilicity物质对水

8、有较高的亲和能力，即可以吸引水分子，或溶解于水。注：亲水固体材料的表面，易被水所澜湿。3．2．6疏水性hydrophobicity物质与水相互排斥的现象。注：对固体，疏水表现为浸润性差；对液体，表现为与水之间不相溶。3．2．7静电驱动electrostaticactuatioⅡ利用结构问的静电场力进行的驱动。3．2．8电磁驱动electromagnetica