真空镀膜操作注意事项.doc

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1、1、概述DM220型高真空镀膜台主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜，也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜，以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层，也可对某些小零件作真空加热定型处理，配件附上，可作旋转倾斜、离子溅射、离子减薄、离子电镀和冰冻蚀刻等用途。DM220型高真空镀膜台结构紧凑、小巧、美观大方、操作方便，可靠性好，其真空示意图见图所示。2、主要技术参数：2.1真空室容积Ø220*230mm2.2蒸发电流50A2.3蒸发电压20V2.4工作真空度2.7*10^-3Pa2.

2、5主机功能单相50HZ220V2KVA2.6外形尺寸640*300*940（长*宽*高）mm2.7质量（净重）小于70Kg3、工作原理该仪器是采用了淀积原理的技术，对试样进行表面镀膜，也可作真空定型，真空清洗。4、结构特点：4.1结构该仪器分为独立的五大部件a、真空系统b、安全保护系统c、工作室d、控制系统e、供电系统4.2特点4.21仪器采用了机械、电气相结合，自锁、互锁相结合的保护系统。4.22仪器配有可升降的试样台，从50mm~75mm，满足不同距离的喷镀要求。4.23仪器突然停电后真空泵

3、能自动进气以免真空泵返油，再恢复供电时，仪器不会自动启动。4.24仪器配上定向蒸发套，可在小区域内进行喷镀，避免整个钟罩污染。5、安装调试和安全使用5.1、安装条件5.1.1工作室内环境应清洁，不应有可能引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间导电尘埃和气体的存在。5.1.2环境温度10℃~30℃5.1.3相对湿度不大于80%5.1.4冷却水进水温度不高于25℃5.1.5供电电源单相220V电压波动范围198-231V频率波动范围49-51HZ容量不小于2KVA5.2、调试和安全使用5.2.1检

4、查所有紧固件不得有松动，电器接插件应接触良好。安装时应看图一。5.2.2各活动调节部分应灵活、手感良好，不应有卡死和急跳现象。5.2.3切断水源或降低水压小于5*10^4Pa时，机内报警。5.2.4打开预抽阀V2时，主阀V1应不打开（机械互锁装置）。5.2.5打开预抽阀V2或主阀V1中的任何一只，按下进气开关时，应不起作用（起到保护作用）5.2.6冷却水进水压力不低于5*10^4Pa，可调节进水压力器内的调节螺钉（以不报警为准）。5.2.7冷却水流量不低于21/min5.2.8镀膜台的操作旋钮、

5、开关的动作，应按工作顺序操作（后附操作说明）5.2.9操作中突然停电后，在恢复供电时各用电器件不能自行接通。6、检测维修6.1真空检测维修6.1.1当仪器开机后，初真空度上不去时（达不到6.7Pa）可仔细检查可有密封部位是否松动和密封圈损坏（如旋转手柄、蝶阀轴封，电极棒下端，电磁阀等），也可对机械泵单独测量（可取下机内较短的一根橡皮管，插入机械泵抽口，另一端插入ZJ-51型热偶真空规，并用SG-3型复合真空计来检验机械泵的真空度，一般应在5Pa左右，如低于5Pa时，应对机械泵清洗或修理。6.1.

6、2如仪器初真空达5.33Pa以上，属正常，但高真空度上不去时，可先检查扩散泵底部的电热丝是否断，如高真空度再上不去，方可考虑对扩散泵进行清洗，换油（275硅油50毫升）DM220高真空镀膜台操作步骤说明：该仪器属半自动控制的操作，它的原理是通过机械()轮的位置，控制微动开关，起到在同一时间内，预抽阀V2和电磁截止阀V3相互交替工作，即预抽阀V2打开，截止阀V3关闭。当（）轮位置变化时，电磁截止阀V3开启（抽扩散泵）；预抽阀V2就出在关闭状态，来保证仪器的真空系统正常工作。开机过程当仪器需工作时，

7、首先接通电源（AC220V、50HZ），并按插头上标注的L、N极性位置，然后把真空测量仪的电源线插入机箱外后底部的插座内，接上进出水管和热偶规管及电离规管（按示意图三）。按下“总电源”开关此时若机内讯响器发出报警声，应开自来水龙头，直至消除响声，把予抽旋钮旋开450左右，前面板上的指示灯亮，按下“真空泵”开关2秒后把予抽旋钮复位，按下真空测量仪电源开关，观察热偶真空度（扩散泵真空度）并注意真空规管的起始电流值，当测量仪上指示达5Pa~2Pa时，把予抽旋钮旋至开的位置，此时对真空室进行抽空，当测量

8、仪再指示为5Pa~2Pa时，把予抽旋钮旋至关的位置。按下“扩散泵”开关，此时扩散泵下部的电炉开始加热，30~35分钟后，再把予抽旋钮旋开1~2分钟（不能超过2分钟）后关，稍后，打开主阀，2~5分钟后即获得高真空5*10-3Pa~3*10-3Pa(可用电离规管测量）。工作过程控制器上的蒸发Ⅱ一般为清洗光栏和蒸镀铬金、铝等物，而蒸发Ⅰ一般为蒸碳所用，如只需对试样蒸镀黄金、铬、铝等，可将这些物逐次放入钨篮中（图2），根据需要蒸镀厚度，旋转电流旋钮，这时电流表上即反映出蒸镀电流，一般控制在50A左右，如