高纯石英砂研究与生产现状.pdf

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1、2006年第5期中国非金属矿工业导刊总第57期[开发利用]高纯石英砂研究与生产现状申士富（北京矿冶研究总院，北京100044）摘要：高纯石英砂作为战略性产品，在国民经济中起到越来越重要的作用；综述了国内外的研究与生产现状，提出我国进行深入研究的必要性和研究方向。关键词：高纯石英砂；提纯；球形石英砂；生产现状中图分类号：TD973.3;TD985文献标识码：A文章编号：1007-9386(2006)05-0013-04TheActualityofStudyandManufactureinHigherPurityQuartzShe

2、nShifu(BeijingGeneralResearchInstituteofMiningandMetallurgy,Beijing100044,China)Abstract:Itismoreandmoreimportantforhigherpurityquartzwhichislookedasastrategicallyproductiontonationaleconomy.Thispapersummarizestheactualityofstudyandmanufactureinhigherpurityquartzwhi

3、ch'sneedofdeeplystudyanddirectionofstudyarebroughtforward.Keywords:higherpurityquartz;purity;globalquartzpowder;manufactureactuality1高纯石英砂的主要用途颗粒呈球形。由于球形颗粒的表面积最小，各向同高纯石英砂(Finesilicapowder)一般是指SiO2性好，流动性好，与树脂搅拌均匀，树脂添加量小，含量高于99.9%的石英微粉，主要应用在IC的集成石英砂的重量填充比可以达到90.5%，因此可

4、以减电路和石英玻璃等行业，其高档产品更被广泛应用小塑封材料的热膨胀系数、导热系数，使其最大限在大规模及超大规模集成电路、光纤、激光、航天、度地接近单晶硅的热膨胀系数，从而提高塑封材料军事中。由于这些行业关系到国家的长远发展，因的使用性能，降低原材料成本。其次，球形石英砂此高纯石英砂的战略地位非常重要，其高端产品的制备的塑封材料集中应力最小，应力只是角形粉的制备技术被美国、德国等所垄断，并限制技术和产60%，强度最高，因此利用球形粉制备的封装材料用品出口。于电路芯片时，成品率高，运输、安装、使用过程高纯石英砂是中性无机填料，不含

5、结晶水，不中不易产生机械损伤。第三，球形粉的摩擦系数小，参与被填充物的化学反应，是一种非常稳定的矿物对模具的磨损小，可以延长模具的使用寿命达一倍，[2]填料，广泛应用于塑料、橡胶、胶结料和涂料中，既降低企业成本，提高经济效益。可增加产品的各种新功能，也可节约大量原料。根据集成电路的集成度确定使用球形石英砂，高纯石英砂是半导体行业的主要塑封材料，它当集成度达到16M以上时，集成电路基本全部使用和环氧树脂、固化剂、各种添加剂等复合使用，可球形石英砂；250M时，集成电路的线宽为0.25μm；以节约封装成本；并且还可用作电子基板材料

6、，用1G集成度时，线宽0.18μm。目前计算机PIV、PM于制备单晶硅和多晶硅等。处理器的CPU芯片，已经达到250M、1G的水平，近几年，国内外IC技术发展非常迅速，EMC生正向16G或更高的水平发展。这时使用的石英砂为[3]产线从线宽5μm(集成度16K)、3μm(集成度64K)、更高纯度、更低放射性的球形石英砂。2μm、1μm技术一直发展到目前的0.25μm、0.10μm，要求石英砂向高纯度、低结晶度、低放射性收稿日期：2006-05-15作者简介：申士富，男，39岁，工学博士，高级工程师，[1]含量、球形化方向发展。主

7、要进行非金属材料加工技术方面的研究及资源综合利用研球形石英砂是利用一定的加工工艺使石英砂的究。13申士富：高纯石英砂研究与生产现状高纯石英砂还是石英玻璃的主要原料。石英玻为著名的商标，其纯度被当作“国际标准纯度”，世璃具有一系列优良的物理化学性能，如耐温性高达界上其他厂家的产品皆以此标准衡量质量，其部分[1,8]1100～1200℃，比普通玻璃高800℃；是透明的耐产品的质量指标如表1所示。二氧化硅的纯度目-7火材料；热膨胀系数小，仅为5.5×10/℃，相当前正在由99.9992%向99.9994%的方向发展。据于普通玻璃的1

8、/20，理论上可以到零膨胀；具有极称，近几年，GE公司也开始生产化学合成的高纯石佳的透光性能，紫外线、可见光、红外线等都可以英砂。良好地透过；具有良好的电绝缘性，20℃时电阻率表1尤尼明公司高纯石英砂产品主要质量指标为1018Ω/cm，绝缘强度为250kV/cm，真空度可IO