硅片制造生产流程课件.ppt

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1、硅片性质、生产流程及其工艺硅片性质、生产流程及其工艺硅片性质:硅片尺寸:硅片性质、生产流程及其工艺硅片性质:硅片内控标准整个工艺流程：线开方粘棒线开方线开方去胶滚磨粘棒切片去胶清洗、烘干分选包装硅片性质、生产流程及其工艺硅片生产工艺流程介绍:1、线开方粘棒:硅片性质、生产流程及其工艺2、线开方注：上图为从瑞士HCT购买的线开方机器，满载可以切割25根500mm长的晶棒，时间约为11h/刀现状:硅片车间现有3台HCT线开方机器，型号为E800S-SQ硅片性质、生产流程及其工艺2、线开方线切割原理:砂浆中的金刚砂附着在高速行走的钢线上磨削形成切割；金刚砂:学名绿碳

2、化硅；悬浮液:简称切削液，学名聚乙二醇；砂浆按切割密度要求的配比混合图1为正在烘箱中的金刚砂图2为正在配制砂浆的沙浆缸图1图2硅片性质、生产流程及其工艺2、线开方上棒:从粘棒处领取上一工序粘接好的圆棒，将圆棒装到线开方工作台上装好晶棒后，将工作台送入切割室，准备切割图中带5*5圆孔的为电磁工作台定位铝板，将粘接好的晶棒装到工作台上，由定位铝板定位，然后对电磁工作台加磁，固定好晶棒。硅片性质、生产流程及其工艺2、线开方切割:将电磁工作台送入切割室，一切准备工作就绪后，开始切割。切割室硅片性质、生产流程及其工艺2、线开方卸棒:切割完毕后，将工作台摇出切割室，开始卸

3、棒卸棒完成后，将卸下来的晶棒送去去胶室去胶图中所示为去胶室的去胶槽图1为工作台上未卸下的晶棒，图2为卸下的晶棒图1图2硅片性质、生产流程及其工艺3、线开方去胶将开方后的晶棒放入80度热水的去胶槽中，让胶慢慢融化，然后用隔热手套先将晶棒四周边皮料拿出后把晶棒拿出，去掉晶托，将胶刮干净，放到待检区，检验尺寸，合格后准备进入下一工序；进入下一工序：滚圆晶托边皮料硅片性质、生产流程及其工艺4、滚圆硅片性质、生产流程及其工艺4、滚圆将切方好的晶棒装夹到外圆磨床上，开始对晶棒外圆进行滚磨。加工标准:圆径150±0.2mm同心度≤0.5mm表面无明显锯痕：深度<0.5mm加

4、工好的晶棒送至待检区，由品管部门对晶棒尺寸等参数进行检验检验合格的晶棒送入存储区，等待下一工序领用。下一工序：切片粘棒硅片性质、生产流程及其工艺5、切片粘棒配胶:根据晶棒长度称取一定量的A剂和B剂搅拌混合.其中A剂为树脂，B剂为固化剂。B剂A剂配胶杯粘接好后，将晶棒放到货架上固化6小时，之后才能领取切片。将玻璃板粘到切片晶托上，加压固定，待固定好后，将晶棒粘到玻璃板上，同样加压固定，等待固化。硅片性质、生产流程及其工艺6、切片注：上图为从瑞士HCT购买的线切割机器，满载可以切割4根500mm长的晶棒，时间约为6h/刀现状:硅片车间现有10台HCT线切割机器，型

5、号为E500SD-B/5硅片性质、生产流程及其工艺6、切片领取四根粘接好的方棒，一切准备工作就绪后，开始切割。此线锯满载切割可以切割四根长度为500mm的方棒，出片率为57片/公斤。右下角图片为切割过程示意图。钢线以13m/s的速度带着金刚砂磨削形成切割。硅片性质、生产流程及其工艺7、切片去胶将线锯切割完毕卸下的晶棒送到切片去胶室准备去胶。待喷洗干净后，放入80度热水浸泡硅棒粘胶部分，等待胶水软化。将晶棒翻转，装在去胶工装上，抬入去胶槽，用水枪将硅片外部和内部的砂浆喷洗干净。待胶软化后，将硅片取出，放入盛有清水的盒子中，进行插片硅片性质、生产流程及其工艺8、清

6、洗上图为全自动清洗机硅片性质、生产流程及其工艺8、清洗将去胶后的硅片放入片盒中，准备清洗。左图为片盒将片盒放入盛有清水的盒子，准备清洗左图为盛装片盒的篮筐。硅片性质、生产流程及其工艺8、清洗右图为正在清洗中的硅片左图为正在试洗中的全自动清洗机。硅片性质、生产流程及其工艺10、分选将甩干后的硅片放到手推车内推入分选包装室进入下一工序。上图为分选包装室硅片性质、生产流程及其工艺10、分选自产的硅片分合格品和等外品两大类，合格品等外品的分类及标准如下：硅片性质、生产流程及其工艺10、分选硅片性质、生产流程及其工艺10、分选将片盒中的硅片分类，将不同情况的硅片分别放入

7、泡沫盒中，准备进行包装。每100片放入一个格子中。图中为分类好的硅片硅片性质、生产流程及其工艺10、分选品管对送来的样片进行抽检，测量其厚度、TTV、电阻率、缺角、裂痕、线痕等右图为可以测量厚度和TTV的花岗石测量仪器。用刻度模板的刻度目测缺角、梯形、外形片是否存在检测标准内。上图为刻度模板硅片性质、生产流程及其工艺11、包装品管再次对分选完的硅片进行抽检，合格后分发合格证，转入下一工序——包装每100片硅片用两片泡沫垫包住，套进塑料收缩袋中，进行封口上图为正在封口的硅片左图为塑料封口机合格证硅片性质、生产流程及其工艺硅片封口完毕后，用远红外热收缩机将每包硅片

8、的外层塑料薄膜收缩将收缩好的硅片包分类