石墨煅烧操作规程.doc

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1、煅烧石墨操作规程一岗位任务提供洁净高纯石墨基座、石墨卡瓣，为生产高质量的太阳能级多晶硅奠定基础。二岗位职责（1）煅烧石墨件的准备（2）石墨件清洗（3）石墨件烘干（4）石墨件煅烧三工艺流程原理通过高温煅烧除去石墨中的易挥发物，防止在还原和硅芯拉制时杂质沾染多晶硅。四工艺指标（1）真空泵低真空到30格（1×10-3档）（2）扩散泵高真空到90格（1×10-3档）（3）煅烧炉高压开后20分钟升压，每次0.5V（4）煅烧炉温到1550℃五开停车、紧急停车步骤及操作方法（1）开冷却水阀门（2）开真空泵（3）合扩散泵闸刀，预热扩散泵（4）开真空阀，低真空到30格（1×10-3档）时，关闭低真空阀门（5

2、）开高真空阀门，高空到90格（1×10-3档）（6）合高压开关，二十分钟后，升高压。等真空度到80～90格时，升高压，一直到8（X5），炉温到1550℃，恒温2～3小时（7）停炉：慢慢降温，一般十分钟降完，停高压电、停扩散泵、关真空阀、停炉、关闭冷却水阀门（8）拆炉：拆开炉子后，戴口罩和高纯手套，把石墨件去出，装在洁净的塑料袋内密封。（9）紧急停车：先停真空泵再停电，最后停水。六常见事故原因分析及处理（1）停水：马上关闭真空泵阀门然后关闭电源。（2）停电：关闭真空泵阀门，待石墨炉内和扩散泵温度降到室温再关闭电源，最后关闭循环水阀门。（3）真空抽不到指标：停炉然后检查密封处的密封性。七连锁、

3、报警一览表水压、温度、真空度、电压、电流八设备一览表循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉九工艺流程简图开炉抽真空装炉石墨清洗恒温降温升温密封石墨件拆炉停炉