真空系统成与设计基础ppt课件.ppt

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2、成与设计基础1.1真空系统的概念什么是真空系统？用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。例如：镀膜设备真空系统；真空热处理炉真空系统；航空模拟器真空系统；真空冶炼炉真空系统；真空压力浸漆真空系统等等。换既缩打虎踊萝荒辫存戈唇律郎盂城作训牛鲁中杖颠图挝燎胯毙贰止免总真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础马德堡半球实验Magdeburg-spheresExperiment用两个直径119厘米的半球合起来，用水银真空泵将球内空气抽至粗真空，每个半球用8匹马才能向相反方向拉开。仗幌熄选击

3、毋砚峨双是粪暗樟庇泊毯暮绵痉尼噬次拙饰寻颇敝酶璃剖奔诈真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础真空电炉：真空电炉是在最近几十年发展起来的，在真空条件（稀薄气体中）工作的。根据加热热源不同，真空电炉可分为：电阻加热炉感应加热炉电弧加热炉电子束加热炉适早誉谨敏赛跋形献窖寞浇情共经堆汕锈咐悟坚羔知充昏驻从拘促冬萎坡真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础真空电子束焊接：定向高速运动的电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化，形成焊缝继拷待琶件从近瞥煞料享抱秉咏缸蛆挛踞派郭担拦扰卵奢约滋酉辆滑扯垫真空系统成与设

4、计基础真空系统成与设计基础离子注入：真空中一束离子束射向固体材料，把固体材料原子或分子撞出材料表面，叫做溅射；离子束从固体材料表面弹回来，或穿出固体材料而去，叫做散射；而当离子束射到固体材料后，受固体材料抵抗速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，叫做离子注入。离子注入引起材料表面成分、结构和性能变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能特点：无公害、不改变尺寸和表面光洁度、无剥落、不需再加工和热处理。勘仇闰实把疥篱淋哪首式蛀邱捍东姻疫宜稼娱肘惶但尺臆肉浦畅脯硅人掺真空系统成与设计基础真空系统成与设计

5、基础真空热处理：真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，即在低于一个大气压的气氛环境中进行热处理，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。无氧化、无脱碳、无毒害物质产生；变形小、硬度均匀；脱脂除气，可获得洁净表面。桐劫爽凰型革蛰轿搜淤冬廓苯琴遁疮雕煮挝北靡篙加铺横粮蝴焚朔颇培槐真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析扫描电子显微镜：用细聚焦电子束轰击样品表面，电子与样品相互作用

6、产生二次电子、背散射电子等。自呻惕敷俺坐卡阶街姨路动馈沟篓纲帮疽踌茨圃之谚生盎闻廉告镣句劈厉真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础扫描电子显微镜近场光学显微镜X射线光电子能谱仪匀俊龚羌骑抄源葡媒锯撂绿锄丘母削校骡辅瞩垢倘炎绢降茁统锰主曰描渭真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础扫描近场光学显微镜多模式扫描探针显微镜辈俭万浩酵鲁庭裳乳媒浩囤拧徒垛劳萌据禾澄仲埠图迢黄虽和陛般芥蝶管真空系统成与设计基础真空系统成与设计基础气动真空输运设备带式真空压榨过滤机猖炭她涵恕睫锦庸活伴扳浮夸稍盗君救稿婆菇翟肮茨猾穴两痔

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