第五章 真空检漏ppt课件.ppt

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1、WhatisVacuum?反映真空度的直接物理量是什么？常用单位？真空区域划分？气体三定律？道尔顿定律及其意义？理想气体状态方程？理想气体？永久气体？蒸汽？永久气体与蒸汽的区别？压强方程及其意义？麦克斯韦速率分布？最可几速率？算术平均速度？均方根速度？自由程？气体分子平均自由程？气体沿管道的流动状态可划分为几种基本形式？如何判别？流导？真空技术基本方程及其推导？吸附？物理吸附？化学吸附？物理吸附特点？化学吸附的特点？吸气剂？吸气剂作用？分类，举例？光源生产中使用吸气剂的必要性？吸气剂吸气原理有哪三个主

2、要因素？15.何谓非蒸散型吸气剂的激活？如何实现？16.释汞吸气剂及其作用？17.ZrAl16惰性气体单级净化器原理及应用？18.脱附？去气？去气方法？19.真空泵？真空泵分类(根据原理)？20.抽速？极限压强？最大工作压强？压缩比？比抽速？21.旋片泵工作原理？22.单级旋片泵一般极限压力？为什么极限压力不能再低呢？23.气镇式机械泵？直联泵？24.机械增压泵又称什么真空泵？工作原理？25.扩散泵的工作原理？26.画图说明扩散泵分馏装置的作用？27.分子泵的发展史？28.气体捕集式真空泵及其种类（举

3、例）？29.离子蒸发泵工作原理？30.钛升华泵的工作过程?31.钛离子蒸发泵工作过程?32.溅射离子泵又称?抽气机理?33.吸附泵?低温冷凝泵?低温吸附泵?34.真空计分类(举例）？35.真空测量特点?36.开式U型管真空计原理？37.闭式U型管真空计原理？38.压缩式真空计又称？工作原理？特点？39.麦氏计有哪二种刻度方法？原理？40.热传导真空计原理？41.热阴极电离真空计工作原理?组成?分类?42.如何提高电离计的测量上限？43.如何提高电离计的测量下限？44.45.46.47.48.49.50

4、.51.52.53.第五章真空检漏LeakDetection主要内容5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．容许漏率5.2检漏的基本原理一.压强差的作用二.示漏气体与探测器三、检漏方法的响应过程四、各种效应的利用五、检漏器的性能指标5.3压力检漏法一.打气检漏法二.卤素检漏法三、氨检漏法5.4真空检漏法一.高频火花检漏法二.真空计检漏法三、质谱仪检漏法1．工作原理2．示漏气体3．检漏方法4．性能指标5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．

5、容许漏率真空检漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的

6、空气的气体量。    漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。5.2检漏的基本原理检漏目的：一.压强差的作用P1>P2；P1

7、气体与探测器示漏气体：卤素；放射元素；氨气等探测器：电离计等；三、检漏方法的响应过程立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定；探查法四、各种效应的利用五、检漏器的性能指标漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。检漏方法的分类充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法Chapter5LeakDetectionSection1.Generalintroduction1.Theimportanceofleakdetection(a)Anidealvacuumchambe

8、rshouldmaintainforeverthevacuum(pressure)reachedatthemomentofitsseparationfromthepumps.(b)Anyrealchamberpresentsariseinpressureafterbeingisolatedfromthepumpingsystem.Continuationofgeneralintroduction(c)Thepressureriseisproducedby