《薄膜光学》期末试卷(A).doc

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1、北京理工大学珠海学院2010～2011学年第一学期《薄膜光学》期末试卷（A）诚信声明考场是严肃的，作弊是可耻的，对作弊人的处分是严厉的。我承诺遵守考场纪律，不存在抄袭及其它违纪行为。考生（承诺人）签字：专业：班级：学号：适用年级专业：2007级测控技术与仪器专业试卷说明：开卷，考试时间90分钟题号一二三四总分得分一、填空题（每空1分，共20分）【得分：】1．光学导纳是指。2．入射介质折射率n0=1，玻璃折射率n1=1.5，当一束光垂直入射时，在玻璃单一界面上产生反射率R=。（玻璃无吸收）3．等效界面是指与之间的界面

2、。4．已知入射介质折射率为n0，薄膜材料折射率为n1，基底的折射率为ns，对于单层减反射膜折射率关系要满足，对于单层高反射膜折射率关系要满足。5．宽带减反射膜的“母膜系”结构为。6．多层高反射膜堆的膜系结构为，高反射带的宽度与有关。7．最简单也是最常用的构成截止滤光片的周期性对称膜系结构为。8．真空镀膜机主要由三部分组成，它们分别是、和。9．气体分子的平均自由程是指。10．油扩散泵的“油扩散”是指。11．离子源利用产生等离子体，并能从等离子体中引出。12．基片的清洗方法，对于新抛光的基片表面，可用脱脂纱布蘸混合液进

3、行擦拭。13．光电极值法测量薄膜厚度，当控制波长λ=600nm时，T或R走了两个极值，则此时膜层光学厚度为，在波长λ=600nm处，沉积该厚度的膜层后，其透射率T将（增大、减小、不变）。二、选择题（每题2分，共20分）【得分：】1．光学厚度相差为的整数倍的同一材料的单层介质膜，对同一波长有相同的反射率（）。A．λ/4B．λ/3C．λ/2D．3λ/42．下列关于金属高反射膜的特性说法错误的是（）。A．高反射波段非常宽阔，覆盖几乎全部光频范围B．各种金属膜层与基底的附着力有较大差距C．金属膜层化学稳定性差，易被环境气体

4、侵蚀D．膜层硬、不易划伤3．下列真空泵在使用时可以直接向大气中排气的是（）。A．机械泵B．低温泵C．油扩散泵D．涡轮分子泵4．下列可以用来检测低真空的是（）。A．热电偶真空计B．热阴极电离真空计C．冷阴极电离真空计D．三者都可以5．下列说法错误的是（）。A．工作介质是高纯真空油B．必须在有水冷条件下使用C．不能直接抽大气D．可以向大气中直接排气6．下列关于电子枪说法错误的是（）。A．可蒸发高熔点材料B．升温快，化合物分解小C．可重复再现块状材料性能D．膜层填充密度高，机械性能好7．下列关于热电偶真空计说法错误的是（

5、）。A．测量的压强是北侧容器的真实压强B．受外界环境影响不大C．突遇气压急剧升高，也不会烧坏D．能够连续测量，并能远距离读数8．下列关于真空度说法错误的是（）。A．真空度低，气压高B．真空是指没有残余的气体C．真空度低增加膜料分子与气体分子的碰撞几率D．真空度低导致膜层疏松，机械性能差9．光电极值法的过正控制是采用的监控波长要理论上的监控波长（）。A．大于B．小于C．等于D．以上都可以10．镀膜设备检查漏气时，会用到（）。A．乙醚B．乙醇C．乙醇和乙醚混合液D．丙酮三、判断（共20分，每题2分）【得分：】1．对于高

6、反射膜系采用周期性多层膜堆G︳H(LH)S︱A，其反射率随着膜层数的增加而增加，因此，事实上，膜层数越多越好。（）2．对于高反射膜系（LH）S，反射带的波数宽度相等，波长宽度不相等（）3．对于膜系结构（）S比较适合做短波通截止滤光片，而（）S比较适合做短波通截止滤光片。（）4．石英晶体膜厚仪测量薄膜的光学厚度，其灵敏度比光电膜厚仪高。（）5．单独使用机械泵只能获得低真空。（）6．油扩散泵多级喷嘴的作用是形成“接力”向下的运动动能，以阻止“反扩散”。（）7．电偶真空规可以测量高真空，电离真空规可以测量低真空。（）8．

7、离子辅助镀能够明显提高膜层的填充密度，因此，离子辅助技术已经成为光学薄膜制造工艺中不可缺少的组成部分。（）9．当膜层与基底温差太大时，冷却后收缩变形不一致，产生内应力，会造成膜层脱落会龟裂。（）10．膜层沉积速率提高，可以形成颗粒细而致密的膜层，牢固度增加，因此，沉积速率越高越好。（）四、计算题（共40分，1,2,3每题8分，4题16分）【得分：】1．物理汽相沉积为什么需要在真空环境中进行？制造光学薄膜的真空镀膜机需要的真空度是多少？2．离子辅助镀技术是在热蒸发镀膜技术中增设了离子源，采用离子辅助对于膜层生长及性能

8、有什么作用？3．光电极值法和石英晶振法测量膜层厚度原理，并对两种方法进行比较。4．详细叙述真空镀制光学薄膜的基本工艺过程。