触摸屏ITO制程ppt课件.ppt

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1、触摸屏ITO制程1、触摸屏产业链类似LCM封装制程1.1触控面板原材料介绍1.2电阻/电容式触摸屏供应链1.3台系触控面板产业价值链1.4电阻/电容式触摸屏价值链比较1978～2008年的有效专利件数中，日本的专利件数占整体的52％。第二位为美国的23％，第三位为南韩的20％。日本和美国的专利网遍布于面板、相关部材以及用户介面等触控面板相关的各领域，而南韩的触控面板相关专利较偏重于面板部分，其占全部的76％。1.5触控面板专利分布情况2、电阻式触摸屏2.1电阻式触摸屏结构电阻式触摸屏的主要两大原材料是上层的IT

2、O膜和下层的ITO玻璃，它们占触摸屏材料成本的一半以上，电阻式触摸屏的总可见光透过率一般在80%左右。2.2电阻式触摸屏主要材料规格要求2.3四线电阻式触摸屏定位原理2.4电阻式触摸屏实物图2.5四线电阻式触摸屏制作流程ITO玻璃区域划分ITO玻璃侧ITO刻蚀玻璃上印刷SpacerA）电阻触摸屏ITO玻璃面的处理印刷玻璃面Ag线玻璃印刷绝缘胶ins-1玻璃印刷绝缘胶ins-3B）电阻触摸屏ITOFilm面的处理ITOFilm侧ITO刻蚀印刷ITOFilm侧Ag线C）电阻触摸玻璃与Film贴合2.6主要电阻式触摸

3、屏技术介绍3、电容式触摸屏3.1投射电容式触摸屏结构、原理在两个不同导电基材上（或同一导电基材的正反两面），分别有平行的X导线与Y导线；导线相互垂直但却不在同一表面，每个X、Y相交处即形成一电容节点。对导电基材上的导线（驱动线driverline）供以特定振幅与频率的交流电压，另一组导线此时即形成回路以侦测电容改变量（感应线senseline）。操作时控制器交互提供电压至其中一组导线，使每个节点上的电容耦合（coupling）造成驱动线和每一相交的感应线有微小电流；当手指接近一个或多个节点时，会吸走部份电流，进

4、而改变了节点上的电容值。控制器交互扫描感应在线每个节点电容值改变，利用3个以上电容改变的节点来估计触动的实际位置。投射电容式触摸屏最大的优势是触动无须直接接触、支持多点触控，面板可置于透明基材下方而得到良好的保护，触动可经由手指或特殊笔，即便是带着手套亦可以使用投射电容式面板。投射电容触摸面板的核心工艺是双面ITO玻璃多层膜制程。最内层SiO2膜厚约为15nm，主要是起增加Glass与ITO膜的附着力和平整性的作用；最外层SiO2膜厚约为100nm，主要是起表面钝化和保护作用；正反面ITO层膜厚约为15nm，用

5、于屏的可视区ITOPattern凸显的走线，做电极用；背面驱动层中Mo/Al/Mo三层膜厚约为350nm(50nm/250nm/50nm)，用于屏的外围非可视区的走线。其中双层ITO和MO/AL/MO层都需要在后续制程中通过光刻进行图形化，不同的厂家在外围电路走线材料方面的选取会有所差异。3.2双面ITO玻璃的多层膜结构ITOsputterBsideSMprintingAsideExp.&Dev.AsideMetalEtchingAsideStriperAsideSMprintingAsideExp.&Dev.

6、AsidePRcoaterAsideITOEtchingGlasskittingInitialcleanMoNbsputterAsidePRcoaterAsideStriperBsideSMpeeling3.3双面ITO玻璃制程Exp.&Dev.BsidePRcoaterBsideExp.&Dev.BsideITOEtchingBsideStriperSMpeelingPreSIO2cleanSIO2SputterA/Bside10setchingOrganiccoaterFilmatt.Laserscribe

7、r电容触控面板另一种ITO制程3.4ITO图形形状原则：图形之间的相互连线避免过长，连线太长，扫描电阻大，扫描时间长；通常菱形是最常见的图形形状。3.5菱形ITO图形的具体要求3.6ITO图形与外围金属线的连接端电阻取决于ITO面阻抗值、pattern长度及长宽比例ITOpattern端电阻值愈小,则电容感应讯号愈强&IC处理反应时间愈短质量较佳的电容式触控解决方案取决于TouchIC感测及pattern设计现阶段应用于2.8”Film-TypeSensor之ITO-Film面阻抗值约300Ω/□3.7触控面板

8、大尺寸化对ITO镀膜质量要求更高InCellCapacitiveTouchPanelTechnologyStructureOnCellCapacitiveTouchPanelTechnologyStructure3.8内嵌式多点触控面板所谓内嵌式多点触控面板(In-CellMulti-TouchPanel)，是指触控功能直接整合于面板生产制程中，不需校正，不必再加一层触控玻璃，从而可维