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干膜显影液的自动供给量计算方法.doc

干膜显影液的自动供给量计算方法.doc

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时间：2020-09-05

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1、显影液的自动供给量计算方法推荐AQ-4088干膜处理量是0.25㎡/L1.计算方法显影液供给量(L)×推荐干膜溶解量(㎡/L)基板投入数(块)=基板面积(㎡)×显影率×2面2.计算例子(1)条件a.板面积:0.26ft2b.显影率:30%c.显影液供给量:3L/次(因装置设定而不同)d.干膜溶解量:0.25㎡/L3×0.25(2)X==4.8(块)0.26×0.3×2从以上结果看，每5块板需供给3L显影液。以上仅供参考

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