面电阻的测量原理.doc

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1、面电阻的测量原理薄膜电阻通常以面电阻（或方块电阻、薄层电阻）来表示。按照电阻定律：R=ρ×L／S（1）式中R代表样品电阻，ρ代表样品电阻率，L代表电流方向上的样品长度，S代表样品垂直于电流方向上的截面积。可以知道面电阻的测量原理如下：面电阻如图1所示：G表示玻璃原片；ITO表示被溅射在玻璃原片上的氧化铟锡膜层；D表示膜层的厚度；I表示平行于玻璃原片表面而流经膜层的电流；L1表示在电流方向上被测膜层的长度；L2表示垂直于电流方向上被测膜层的长度。根据式（1），则膜层电阻R为：R=ρ×L1／（L2×D）式中ρ为膜层材料的电阻率。当式中L1=L2时，即为膜层的面电阻R□：R□=ρ／D（

2、单位：Ω∕□）（2）它表示膜层的面电阻值仅与膜层材料本身和膜层的厚度有关，而与膜层的表面积大小无关。在实际的测量中，手提式仪器基本上采用“直排四探针”方法测量膜层的面电阻。原理如图2所示。图中1、2、3、4表示四根探针；S表示探针间距；I表示从探针1流入、从探针4流出的电流（单位：mA）；V表示探针2、3间的电位差(单位：mV)。此时，膜层的面电阻R□（式（2））为：R□=4.53×△V／I（单位：Ω∕□）由上式可见，只要在测量时给样品输入适当的电流I，并测出相应的电位差△V，即可得出膜层的面电阻值。