光刻机技术参数.doc

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1、光刻机技术参数一、设备名称：光刻机二、采购数量：1台三、技术参数：1.能支持5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩膜板,对版的厚度无特殊要求。2.基板至少支持碎片和2"、4"等圆形晶片，对于非标准片或碎片，应能提供一定的支持方案。3.曝光的最小分辨度≤1μm.。4.汞灯功率不低于250W，紫外光光强均匀性优于±3%（4"范围）或±5%（6"范围）。5.对准精度±0.5μm。四、配置要求：　　1、光刻机主机1台。　　2、3"、4"、5"掩膜夹板。　　3、2"、4"等圆形晶片承片台。　　4、高质量抗震台。　　5、无油真空泵。五、安装、售后及培训：　　1、交

2、货期：合同正式生效后90天内。　　2、质保期：自验收之日起，仪器设备至少免费保修一年。　　3、仪器安装、验收：提供免费的安装调试，并按照出厂指标验收。　　4、培训：免费提供该仪器设备培训。1