电容屏Sensor基础知识简介上课讲义.ppt

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时间:2020-11-10

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1、电容屏Sensor基础知识简介Sensor基本常识Film做ITO载体的工艺:单层:一层ITO层,无屏蔽层,主要用于中小尺寸Film,成本低;双层:两层ITO层,无屏蔽层,大尺寸都倾向于Film,成本低;三层:两层ITO层,一层屏蔽层,工艺步骤多且良率不好控制,Film只能承载单层ITO。Glass做ITO载体的工艺:单层搭桥:只需要一片玻璃,一面搭桥做ITO层一面做屏蔽层,主要用于小尺寸的屏,工艺少、成本低、良率好控制;双层:一块玻璃的两面都铺有ITO,由于自电容抗干扰能力弱必须再加一层屏蔽层,导致成本增加但实现工艺比单层容易,通常把一层ITO做到LENS上面,另一块

2、玻璃做ITO层和屏蔽层。二、GlassSensor与FilmSensor的比较ITOFilm(菲林)分为亮面材料和雾面材料。均有不防划伤、防划伤、防牛顿环、防反射(高透处理)等材质;ITOGlass(导电玻璃)分为普通玻璃和强化玻璃。其中强化玻璃有表面镀膜和离子置换工艺。厚度有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格。结构及其主要材料比较ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指标:电阻率和透光率。在氧化物导电膜中,以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好,而且

3、容易在酸液中蚀刻出细微的图形.其中透光率达90%以上,ITO中其透光率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制,通常Sn2O3:In2O3=1:9,多用于触控面板、触摸屏、冷光片等。ITO是所有电阻技术触屏及电容技术触摸屏都用到的主要材料,实际上电阻和电容技术触摸屏的工作面就是ITO涂层。ITO:OCA是将光学亚克力胶做成无基材,然后在上下底层各贴合一层离型薄膜,是一种无基体材料的双面贴合胶带。特性:高透光率、雾度低、耐紫外线、高粘着力、耐高温、长时间不使用不发黄OCA:GlassSensor与FilmSensor的比较市场比较1、苹果采用的是Double-ITO

4、玻璃电容屏,Sumsung采用的是Film电容屏;2、目前,HTC、ZTE、MEIZU等都有玻璃电容屏和Film电容屏产品;3、目前市面上的芯片都能支持玻璃电容屏和Film电容屏,因此,客户选择玻璃电容屏还是Film电容屏将不限制电容屏芯片与平台之间调制的限制;4、Film电容屏采用印刷工艺制程,设备不需要采用曝光、显影等高端制程,因此相对玻璃电容屏而言,成本较低;5、Film电容屏是柔性的Film与面板玻璃贴合,贴合容易,而玻璃电容屏是刚性的玻璃与玻璃贴合,贴合难;6、Film电容屏打样周期短,目前,国内供应商还是以Film电容屏为主。注:曝光、显影制程是一种高端制程

5、、在芯片封装和LCD电极设备中常用,相对印刷而言,其精度高、成本高,但是电容屏芯片在计算坐标时是一种权重计算,分辨率低,因此精度高对触摸屏的实际坐标精度提高不明显。最大的优势是可以使玻璃电容屏的边框能设计很窄。三、电容屏ITO制程工艺简介丝印工艺(即化学蚀刻法):在绝大多数的场合中,化学蚀刻法是ITO图形制备最成熟和可行的技术,它可以根据你的需要,生成目前足够精细的图案和相对比较少的前期投资。随着深紫外线技术在曝光设备上的应用,微米的精度,早已被大多数厂家所实现。它具有高效率、批次稳定性和重复性好、设备投资额低、配套技术完善等诸多优点,目前仍是大规模生产的主要方向,使用

6、的原料有蚀刻膏、耐酸油墨、光刻胶。蚀刻膏制程(简称干蚀刻):是直接在产品电极图形区域外印制蚀刻膏,等反应完全后,用蚀刻膏溶剂,一般是水清洗干净,留下所需的电极图形。因为不用耗费大量的化学物品,对环境污染影响更小,节省大量水、电费、场地费用,前期投资费用低廉,一般的中小型企业都可以掌握大部分技术。该工艺的线宽线距一般要求在0.2mm以上,对丝印网版感光胶要求高。控制要点:温度、蚀刻速度、边缘效应耐酸油墨制程(简称湿蚀刻):分为UV型和热固型。它是在产品电极图形区域内印制阻蚀油墨保护起来,然后把产品浸入化学蚀刻液中,让产品电极图形区域外部分与化学蚀刻液完全反应后,再把阻蚀油

7、墨从产品电极图形表面剥离下来,形成产品电极图形。它的线宽和线距做到0.08mm,仍可以达到95%以上的蚀刻良率阻蚀油墨的控制要点:针孔度、粘度保护胶制程:热固型,过酸不过减蚀刻良率较高,成本较高丝印工艺流程激光工艺:ITO具有反射红外线,吸收紫外线能量的特性。人们利用这两个特性制作了1055nm和355nm的激光器,进行ITO膜图形制备加工。红外线激光加工是使ITO层在高温下汽化挥发,把ITO去除掉。紫外线激光加工让ITO层里的原子吸收紫外线能量后自己激化成离子,从ITO层表面不断逃逸,把ITO去除掉。激光蚀刻法制作ITO层有比较严格的线

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