最新TFT制程简介PPT课件.ppt

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1、进入夏天，少不了一个热字当头，电扇空调陆续登场，每逢此时，总会想起那一把蒲扇。蒲扇，是记忆中的农村，夏季经常用的一件物品。　　记忆中的故乡，每逢进入夏天，集市上最常见的便是蒲扇、凉席，不论男女老少，个个手持一把，忽闪忽闪个不停，嘴里叨叨着“怎么这么热”，于是三五成群，聚在大树下，或站着，或随即坐在石头上，手持那把扇子，边唠嗑边乘凉。孩子们却在周围跑跑跳跳，热得满头大汗，不时听到“强子，别跑了，快来我给你扇扇”。孩子们才不听这一套，跑个没完，直到累气喘吁吁，这才一跑一踮地围过了，这时母亲总是，好似生气的样子，边扇边训，“你看热的，跑什么？”此时这把蒲扇，是那么凉快，那么的温馨幸福，有母亲的味道！

2、　　蒲扇是中国传统工艺品，在我国已有三千年多年的历史。取材于棕榈树，制作简单，方便携带，且蒲扇的表面光滑，因而，古人常会在上面作画。古有棕扇、葵扇、蒲扇、蕉扇诸名，实即今日的蒲扇，江浙称之为芭蕉扇。六七十年代，人们最常用的就是这种，似圆非圆，轻巧又便宜的蒲扇。　　蒲扇流传至今，我的记忆中，它跨越了半个世纪，也走过了我们的半个人生的轨迹，携带着特有的念想，一年年，一天天，流向长长的时间隧道，袅TFT制程简介目录:TFT制作流程图TFT制作过程说明TFT五层制程说明TFT的制作类型TFT的工作原理补充说明:1.实际显微镜下的比对2.TFT-LCD的工作说明其它…TFT制作流程图:PreCleanT

3、hinFilmDeposition1.Macro-Inspection2.MonitorPRcoatingExposureDeveloping1.ADI2.CDmeasurement3.AOIDryorWetEtchingResiststripping1.AEI2.CDmeasurement3.Etchratemonitor4.AOIPreClean1.Testkey2.Functiontest3.LaserrepairPhotoProcessThinFilmProcessEtchingProcessFinaltestingTFTLayers五层结构图GateGlassSubstratea-S

4、iGatemetalLayer-1Insulator(G-SiNx)Layer-2n+a-SiS/DmetalLayer-3S/DmetalLayer-3PassivationLayer-4ITOLayer-5PassivationLayer-4SourceDrainTFT制作流程图:Initialclean初始清洗Metal1DepositionGate薄膜沈积Pre-Depclean沈积前清洗Pre-Photoclean光阻被覆/曝光/显影Metal1photoLayer1黄光制程WetetchLayer1蚀刻PRstrip去除光阻Pre-depclean沈积前预洗G-I-NDeposit

5、ionG-I-N薄膜沈积ADICD显影后CD量测CDLoss蚀刻后CDLoss量测MarcoInspection强光检查INphotoIN黄光制程ADICD显影后CD量测INetchIN蚀刻MarcoInspection强光检查Layer-1Layer-2TFT制作流程图:PRstrip去除光阻MarcoInspection强光检查Pre-Depclean沈积前预洗S/DsputterS/D薄膜沈积MarcoInspection强光检查S/DphotoS/D黄光ADICD显影后CD量测S/DetchS/D蚀刻BAKE蚀刻前烘烤N+etchchannel蚀刻PRstrip去除光阻Surfacec

6、onditionS/DCDLoss量测Pass.CVD护层沈积MarcoInspection强光检查Pass.photo护层黄光ADICD显影后CD量测Layer-2Layer-3Layer-4TFT制作流程图:Pass.etch护层蚀刻PRstrip去除光阻ITOSputterITO薄膜沈积MarcoInspection强光检查ITO.photoITO黄光ADICD显影后CD量测ITO.etchITO蚀刻PRstrip去除光阻ITOspaceCDLossITOCDLoss量测FinalAnneal回火TEG电性量测ArraytestArray测试LaserRepair雷射修护Layer-4L

7、ayer-5Test说明CsongateCst金属不透光区BM遮进来的区域ITO电极区能够控制液晶分子排列的区域A.R.=65%显微镜下的DOT等效电路图:说明CsoncommonBM遮进来的区域ITO电极区能够控制液晶分子排列的区域Cst金属不透光区A.R.=61%等效电路图:显微镜下的DOTTFTDevice原件动作原理:视为一个开关组件GDSGDSGDSONOFFi)在闸极给予适当之电压:V