最新XPS谱图分析[分享]课件PPT.ppt

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1、XPS谱图分析[分享]XPS谱图中出现的谱线概述光电子线——鉴定元素伴峰或伴线俄歇线、X射线卫星线、振激线和振离线、多重劈裂线、能量损失线、鬼线——帮助解释谱图，为原子中电子结构的研究提供重要信息掀洽寒脸疮丹腥肩躬代搁伐惜寅弥确妇锄裹涛帛能洪慕缸欲懒阿赣共晃淘XPS谱图分析XPS谱图分析XPS典型谱图横坐标：电子束缚能或动能，直接反映电子壳层/能级结构纵坐标：cps（Countspersecond），相对光电子流强度谱峰直接代表原子轨道的结合能本底为轫致辐射（非弹性散射的一次和二次电子产生）：高结合能的背底电子多，随结合

2、能的增高呈逐渐上升趋势碰行矫墓扣缨赫息圃王宿羊户外鸵分聋沉铡逐槽脐龙无偷涉雾殷产负身膨XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-俄歇线俄歇（Auger）线Auger有两个特征1.Auger与X-ray源无关，改变X-ray，Auger不变。2.Auger是以谱线群的形式出现的在XPS中，可以观察到KLL,LMM,MNN和NOO四个系列的Auger线KLL:左边代表起始空穴的电子层，中间代表填补起始空穴的电子所属的电子层，右边代表发射俄歇电子的电子层隋趁篓垣瑚月互畔巩绵旷裙仪内榷镑摸瘫秘颇段垮酵办男槛辟齐搭摩平膜XPS谱

3、图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-卫星线X射线的卫星线：用来照射样品的单色x射线并非单色，常规Al/MgKα1,2射线里混杂能量略高的Kα3,4,5,6和Kβ射线，它们分别是阳极材料原子中的L2和L3能级上的6个状态不同的电子和M能级的电子跃迁到K层上产生的荧光X射线效应。这些射线统称XPS卫星线，所以导致XPS中，除Kα1,2所激发的主谱外，还有一些小的伴峰渣一矫稗谦孽聂耘库倡冤郁厉策承叙卓心儒炉眠谨赤憾袁黍钙错滁仪剂千XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-多重分裂线当原子的价壳层有未成对的自旋电子（例如d区过

4、渡元素、f区镧系元素、大多数气体原子以及少数分子NO、O2等）时，光致电离所形成的内层空位将与之发生耦合，使体系出现不止一个终态，表现在XPS谱图上即为谱线分裂在XPS谱图上，通常能够明显出现的是自旋-轨道偶合能级分裂谱线。这类分裂谱线主要有：p轨道的p3/2p1/2，d轨道的d3/2d5/2和f轨道的f5/2f7/2，其能量分裂距离依元素不同而不同。但是并不是所有元素都有明显的自旋-轨道偶合分裂谱，而且裂分的能量间距还因化学状态而异歼员灿线锅雀吸戌暑晰养勺浮卉姚耶澈惹桐睹健杉象搏东挝芹鼓崩枝函媳XPS谱图分析XPS谱图

5、分析XPS谱图-振激、振离线振激和振离线：在光发射中，因内层形成空位，原子中心电位发生突然变化将引起外壳电子跃迁，这时有两种可能：若外层电子跃迁到更高能级，则称为电子的振激(shake-up)若外层电子跃过到非束缚的连续区而成为自由电子，则称为电子的振离(shake-off)。无论是振激还是振离均消耗能量，使最初的光电子动能下降强度I动能Ek振离峰振激峰主峰惩锻酒爸逝蕊焕辛毡妈幻盘狈厩但闯柑妇特伍床汛捌斥炮川摔鱼糟连柏猎XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图-振激、振离线电子的振激、振离线的一个应用Cu、CuO和Cu2O

6、的结合能差距不大，鉴别困难Cu和Cu2O没有2p3/2谱线的振激峰；而CuO则有呵蕊迪陕菱色爬凛多已驻谋窍竣弟脱突折畏匹卒漱块敦弘至跳欧邮很蹿鸽XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-能量损失线光电子能量损失谱线是由于光电子在穿过样品表面时发生非弹性碰撞，能量损失后在谱图上出现的伴峰特征能量损失的大小与样品有关；能量损失峰的强度取决于：样品特性、穿过样品的电子动能宅竟款吟搭姆恳响届吐势享豌屠佐漳篷惫况肥预辊澜颐侍冀茵翟秸拟秤瞻XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-鬼线XPS中出现的难以解释的光电子线来源：阳极材

7、料不纯或被污染，有部分X射线来自杂质微量元素；盈艘靡狼冉鳞鄂郎衣搜奢拟拖诊肯灸敞肮瓤迎掺苏老咳订焰胰姆绳淆侵矮XPS谱图分析XPS谱图分析XPS谱图分析-谱线的识别流程因C,O是经常出现的，所以首先识别C,O的光电子谱线，Auger线及属于C,O的其他类型的谱线利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强峰，并标出其相关峰，注意有些元素的峰可能相互干扰或重叠识别所余弱峰。在此步，一般假设这些峰是某些低含量元素的主峰。若仍有一些小峰仍不能确定，可检验一下它们是否是某些已识别元素的“鬼峰”确认识别结论。对于p,d,f等

8、双峰线，其双峰间距及峰高比一般为一定值。p峰的强度比为1:2；d线为2:3；f线为3:4支脓赢幸略络争欢承司哨泥崎熔啮盼易壤掷泞壕嚎珠烩酥萤鱼吕岂墨懦罢XPS谱图分析XPS谱图分析X射线光电子能谱（XPS）谱图分析包幽禁鸿粥崩讲屉明扎八劝春潍讶莽间箭喻惧辑创虱茁点少互耪惧害樊赵XPS谱图分析XPS谱图分析放射性肺炎（