超高分辨率场发射扫描电子显微镜JSM-7800F介绍.pptx

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1、超高分辨率FE——マスタタイトルの書式設定超高分辨率场发射扫描电子显微镜JSM-7800F介绍2JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1.2nm＠1kV➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于观察磁性材料和EBSD分析(样品附近没有磁场泄漏)Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息3JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1.2nm＠1kV➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于观察磁性材料和EBS

2、D分析(样品附近没有磁场泄漏)Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)4电子枪和聚光镜一体化能高效利用电子枪发出的电子传统的电子枪浸没式肖特基电子枪浸没式肖特基场发射电子枪电子枪透镜磁场聚光镜电子束电流量约10倍电子枪和聚光镜一体化能高效利用电子枪发出的电子传统的电子枪浸没式肖特基电子枪电子枪透镜磁场聚光镜电子束电流量约10倍5浸没式肖特基场发射电子枪能高效率地利用电子束

3、长寿命的发射体保证3年JEOLOnly探针电流是传统型的10倍以上因此最适合于EDS分析等JEOLOnly6用浸没式肖特基场发射电子枪进行快速分析１.可进行高通量的EDS分析２.可进行高空间分辨率的EDS分析〈应用实例〉7应用实例1.高通量的EDS分析测试时间60秒（实时）JEOLOnly彩色面分布样品:贴片电容截面测试倍率：x10,000加速电压：5kV探针电流：50nA用定性图谱的测试时间可进行元素面分布用低加速电压可在短时间内进行高空间分辨率的元素面分布测试8应用实例2.高空间分辨率的EDS分析样品：IC截面定量面分布(重量%)测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8n

4、A能将N和Ti分离获取元素面分布图9应用实例2.高空间分辨率的EDS分析样品：IC截面定量面分布(重量%)测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8nA能将N和Ti分离获取元素面分布图减少电流量提高空间分辨率，能进行100纳米级清晰的面分布测试。能获得数百纳米的细微结构的彩色面分布图10JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1kV1.2nm➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析(样品附近没有磁场)Point.1浸没式肖特基场发射电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3

5、用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1kV1.2nm➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析(样品附近没有磁场)11超级混合式物镜(SHL)Semi-in-lens物镜Out-lens物镜超级混合式物镜SHL集中了semi-in-lens和out-lens两者的长处是JEOL独自研发的新型卓越透镜Semi-in-lens物镜Out-lens物镜12Semi-in-lens和Out-lens的不同和特长透镜磁场工作距离短擅长高分辨率观察工作距离长擅长观察磁性材料和EBSD分析工作距离短透镜磁场工作距

6、离长超级混合式物镜①超高分解率观察②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析13稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lensout-lens稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lens物镜和out-lens物镜的功能评估稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lensout-lens稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率14超级混

7、合式物镜(SHL)的功能评估稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率超级混合式物镜1515SHL①超高分辨率观察1.碳上的镀金颗粒2.石墨烯3.锂离子电池的隔膜4.蓝光光盘〈应用实例〉16极低加速电压图像80VJSM-7800在80V的电压下也能观察高品质的图像通过观察样品表面可以进行纳米结构的分析应用实例1.碳上的镀金颗粒8万倍12万倍JEOLOnly17在高加速电压下呈“透明”