GBT 26251-2010 氟及氟氮混合气

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1、ICS71．100．20G86a雪中华人民共和国国家标准GB／T26251—20102011-01-14发布氟和氟氮混合气Fluorineandmixedgasesoffluorine-nitrogen2011-05-01实施宰瞀鹳紫瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会促19前言Cn／T26251—2010本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sAC／TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(sAc／Tc203)归口。本标准起草单位：中核红华特种气体股份有限公司、

2、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人：杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云。1范围氟和氟氮混合气GB／T26251—2010本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。氟

3、的分子式：F：。氟的相对分子质量：37．9968064(按2007年国际相对原子质量计算)。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190危险货物包装标志GB／T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB7144气瓶颜色标志GB／T8979纯氮、高纯氮和超纯氮GB／T11640铝合金

4、无缝气瓶GB14194永久气体气瓶充装规定GB／T26571特种气体储存期规范《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布，2000年)3技术要求3．1氟的技术要求应符合表1的规定。表1氟的技术指标项目指标氟(Ft)纯度(体积分数)／lO_2≥99．o氧(O：)+氨(N：)含量(体积分数)／lO_2≤O．45四氟化碳(CF。)含量(体积分数)／io-2≤o．05氟化氢(HF)含量(体积分数)／101≤0．503．2氟氮混合气的技术要求应符合表2的规定。表2氟氮混合气的技术指标J项目指标I氟(R)含量(体积分数)／10一220I

5、氮(N：)古最(体积分数)／10一280GB／T26251—2010表2(续)项目指标氧(Oz)含量(体积分数)／IO_2≤o．08四氟化碳(CR)含量(体积分数)／IOq≤o．03氟化氢(HF)含量(体积分数)／]0“≤0．503．2．1配制氟氮混合气所用的原料氮应符合GB／T8979高纯氮的规定。氟氮混合气配制允差为氟公称含量的士0．5％。3．2．2允许氟氮混合气的比例按供需双方确定的要求。4试验方法4．1检验规则4．1．1氟的检验规则氟气应逐一检查验收。当检验结果有一项指标不符合本标准表1要求时，则判该产品不合格。4．1．2氟

6、氮混合气的检验规则连续稳定生产的混合气构成一批，每批随机抽检1瓶。当检验结果有任何一项不符合本标准表2要求时，应自该批产品中重新加倍抽样检验，若仍有一项指标不符合要求，则该批产品为不合格。4．1．3氟和氟氮混合气的采样安全应符合GB／T3723的相关规定。4．2氧、氮、四氟化碳、氟化氢以殛氟的测定4．2．1氧、氮、四氟化碳、氟化氢及氟的测定见附录A。4．2．2允许采用其他等效的方法测定氧、氮、四氟化碳、氟化氢及氟含量。当测定结果有异议时，以本标准4．2．1规定的方法为仲裁方法。4．2．3测定氟和氟氮混合气时，应对放空的尾气进行处理，

7、推荐采用三氧化二铝吸收。5包装、标志、贮运及安全5．1包装、标志及贮运5．1．1氟和氟氮混合气的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。5．1．2包装氟和氟氮混合气的气瓶应符合GB5099或GB／T11640的规定。5．1．3推荐使用经过内表面处理的气瓶。推荐使用CGA679瓶阀。5．1．4应防止瓶口被污染和泄漏。5．1．5充装氟和氟氮混合气的气瓶应进行彻底清洗、脱脂和干燥处理。5．1．6氟和氟氮混合气的充装应符合GB14194的相关规定。5．1．7气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。5．1．8运输时，氟和氟氮混合气的气瓶

8、上应附有GB190中指定的标志。5．1．9包装容器上应标明“氟”或“氟氮混合气”字样。5．1．10瓶装氟的成品压力在20℃时不高于2MPa。瓶装氟氮混合气的成品压力在20℃时不高于10MPa。5．1．11氟和氟氮混合气的充装量按实际称