2021年真空镀膜机安全管理规定.doc

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1、2021年真空镀膜机安全管理规定撰写人：___________日期：___________2021年真空镀膜机安全管理规定真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满

2、足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查：1.真空检漏2.检查极限压强3.抽气时间二、满足以上各项检查后，进入操作和使用：1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。2.本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意

3、安全。第4页共10页3.确认安全无误时才能操作设备。4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。5.设备及电源控制柜必须良好接地。6.非专业人员请不要维修本设备。三、工作中还必须注意以下几点：1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架;3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂;4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件;5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳);

4、7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修;8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外;第4页共10页9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化;10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。 第4页共10页2021年真空镀铝机安全操作规程1目的：为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故，为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害，特制

5、定本文件，为操作镀铝机提供正确指引。2范围：适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。3职责：3.1机长和辅助：执行本文件规定项目和内容。3.2主管：监督当班人员按本文件规定执行，负责日常巡查和纠正违章操作。3.3设备管理部：负责全厂区范围内巡回检查，发现和取证各车间违章操作行为。4操作具体要求：4.1工作准备第10页共10页按本设备使用说明的各项要求，检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常，保证三相电压＞370V,保证油水分离器处的气压＞0.55Mpa、冷却水进水压力＞0.2Mpa（LDL5的水压0.15Mpa），＜0.3Mpa,确保其通畅、可

6、靠和安全。［备注：交接班时，关闭V2、V6V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀（也可以在关闭V1、V5而且真空度90Pa（9103）的情况下进行），并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-___月排放1次/3小时间;7-___月排放1次/5小时。4.2镀膜准备工作4.2.1将整齐满绕铝丝（纯度99.98%）的送丝盘装入送丝轴销，再装入送丝装置座的支块上。4.2.2每天用铜刷将送丝轮的齿轮杂物清除干净,将送丝盘上的铝丝直出线头穿过送丝压轮组及送丝导管送至蒸发舟上方，同时调整弹簧的压力使下压轮压紧铝丝而不打滑，能顺利地输送铝丝。4.2.3将

7、导电氮化硼蒸发舟两端包以石墨纸后按入电极内,石墨纸不能超过6层.4.2.4将待镀膜的纸芯管装入放卷气胀轴之上，将空纸芯管装入收卷转轴之上，并充分将纸芯管紧紧涨住(严禁用金属等硬物直接敲打气胀轴)。第10页共10页4.2.5将装有空纸芯管的收卷气胀轴和装有待镀膜的放卷气胀轴分别放入收、放卷夹持器中，并夹持牢固，再将待镀膜从放卷气胀轴引出按穿膜示意图所示绕至收卷气胀轴之上，注意并保证待镀膜在各导辊及主辊之上必须平整，保证收放卷的边缘对齐。并调整张力、卷径等各项参数，确认无误后合拢小车。(收卷卷径:3英寸设定100mm；6英寸设定180mm；放卷卷径:3英寸

8、设定100mm；膜卷长度600米以内设定400mm;膜卷长度1000米以上设定550mm;放卷