单晶炉机械结构(PPT38页).ppt

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1、TDR85A-ZJS单晶炉的机械结构与维修背景—半导体生产流程拉制单晶棒（本产品研究环节）石英砂－金属硅多晶单晶硅棒单晶硅片集成电路太阳能电池太阳能电池应用集成电路应用设备简介直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下，通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。工艺过程加热器籽晶CCD坩埚提升旋转机构坩埚抽真空检漏调压熔料稳定熔接引晶放肩转肩等径收尾停炉氧化籽晶提升旋

2、转机构单晶棒液面测温仪热场测温仪氩气流量熔料引晶放肩等晶收尾TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉整体结构尺寸炉体电控柜电源柜总重整体结构尺寸接口尺寸籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试带称重传感器快慢速双电机外置限位调节观测玻璃窗光电编码计行程晶体提升机构晶体提升机构结构（主视）晶体提升机构结构（俯视）晶体提升腔拆装及调整1、拔下称重传感器腔上的航空插头。2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。3、将缆索管下降到如左图所示位置之后，取下钢丝绳。4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的内六角螺钉，松开刚性连轴器右侧的紧

3、定螺钉，将其向外滑出。小心不要把联轴器上的十字块跌落。5、松开行程块的2颗固定螺钉，卸下同步带。6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。螺钉是从底板下面向上旋进的。7、把提升腔垂直平稳向上提起，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈和轴。8、松开2颗铰链螺钉，使称重腔与提升腔脱离。拆装钢丝绳时缆索管位置晶体提升腔拆装及调整取出压力辊子组件右端盖左端盖取出右端盖花键轴、缆索管取出晶转磁流体10拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。11拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将其向右端推出，同时顺时针

4、旋转花键轴使得缆索管从铜螺母的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。12用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。13松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。9松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下压力滚子组件。14将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。晶体提升腔拆装及调整15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉，将左端盖连同铜螺母一起从提升腔内抽出。16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉，取下铜螺母。17、重装时

5、，首先铜螺母装回端盖，装回把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉。18、将右端盖装回提升腔，上紧固定螺钉。19、将缆索管装入花键滑套，上紧固定螺钉。20、装回花键轴左端的滚动轴承。21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔右侧送入，逆时针旋转花键轴使得缆索管拧入铜螺母，将右端盖完全压入提升腔，上紧4颗固定螺钉。22、装回提升腔左端盖的盖板，拧紧固定螺钉。23、装回压力滚子组件，拧紧压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉。24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入，检查钢缆螺纹与磁流体孔中心

6、的位置，保证磁流体孔中心与所对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。左端盖及铜螺母对中针缆索管的对中晶体提升腔拆装及调整25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈和轴。在O型圈上抹少量的真空脂将有助于提升腔的装入。26、装回把提升腔固定到底板上的两颗螺钉。27、装回称重腔，拧紧铰链螺钉。28、装回钢丝绳，并重新检查限位开关的设置。29、装回刚性联轴器和卡环，确定联轴器上的十字块仍在正确位置。30、在钢丝绳上装上籽晶夹头。31、将称重传感器腔的航空插头重新插上。籽晶钢

7、缆的对中1、安放对中靶在坩埚轴的托盘上，保证其位于托盘正中。2、安装对中针在籽晶夹头的一端。3、定位坩埚使对中靶在要求的熔体水平位置。4、抽空单晶炉且维持在20Torr静态压力。5、降下籽晶夹头，使对中针几乎触及对中靶。6、从另一个观察窗观察对中针是否正对对中靶中心。7、如对中针没有正对对中靶中心，则松开固定籽晶提升装置的三个压紧块。8、调整压紧块侧面的顶紧螺钉使对中针正对对中靶中心。9、上紧三个压紧块，观察对中针是否有偏差。10、拆下对中靶和对中针。晶升离合器的调整1、使用0.2mm的塞尺塞入离合器，当

8、离合器通电时，固定离合器右侧的定位螺钉。2、离合器断电，取出塞尺，重新通电，检查是否吸合。3、离合器断电，用0.2mm的塞尺检查间隙是否有变化。4、反复测试几次，至离合器吸合、分离正常。晶体提升机构维护周期表设备名称维修周期步骤籽晶钢缆每次运行检查磨损、损坏情况籽晶提升滑轮及卷丝轮每个月清洁并检查对中性晶转和晶升皮带3个月检查磨损/对中和张力晶转、晶升电机噪声、刷磨损3个月检查碳刷长度联轴器紧定螺钉3个月检查紧固性晶升离合器组