毕业设计（论文）-卷绕式真空镀膜机真空泵结构设计

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1、卷绕式真空镀膜机真空泵结构设计摘要真空泵，机械，物理，化学，物理和化学方法如萃取容器中，以获得和维持真空设备。真空泵和其他设备（如真空容器，真空阀，真空计，连接管路等）组成的真空系统，广泛应用于电子，冶金，化工，食品，机械，制药，航空航天等行业。按泵的工作原理，本质上捕获气体进入气体泵和泵的类型。泵包括：液环真空泵，往复式真空泵，旋片式真空泵，真空泵定子，活塞泵，摆线泵，干式真空泵，真空泵，分子泵，牵引泵，复合泵，水喷射泵气体喷射泵，蒸汽喷射泵，扩散泵。捕获的气体泵，包括：一个吸附泵和低温泵。针对设计要

2、求，对罗茨真空泵进行了设计。主要包括传动系统的设计。罗茨真空泵工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转，气体从进气口吸入到转子与壳体之间的空间中，然后通过排气口排出。因为空间是封闭的抽吸状态下，所以不存在气体在泵室的压缩和膨胀。然而，当转动时，转子的排气口的上边缘，该空间与排气侧连通，排气侧的气体压力越高，洗涤气体的一部分返回到该空间中，气体的压力急剧增加。随着转子继续旋转时，气体排出泵。关键词：真空镀膜机；真空泵；结构设计III卷绕式真空镀膜机真空泵结构设计AbstractVacuumpumpsw

3、ithmechanical，physical，chemical，physicalandchemicalmethodssuchascontainerextractioninordertoobtainandmaintainavacuumdevice.Vacuumpumpsandotherequipment(suchasvacuumcontainer，vacuumvalves，vacuumgauges，connectingpipes，etc.)consistingofavacuumsystem，widelyu

4、sedinelectronics，metallurgy，chemical，food，machinery，pharmaceuticals，aerospaceandothersectors.Pressthepumpworks，essentiallytrappinggasesintothegaspumpandpumptypes.Pumpinclude:liquidringvacuumpumps，reciprocatingpumps，rotaryvanevacuumpumps，vacuumpumpstators

5、，pistonpumps，trochoidpump，dryvacuumpumps，vacuumpumps，molecularpumps，tractionpumps，compositepumps，waterjetpumpgasjetpumps，steamjetpumps，diffusionpumps.Trappedgaspumpcomprising:asorptionpumpandacryopump.Forthedesignrequirements，theRootsvacuumpumpdesign.Inc

6、ludingthetransmissionsystemdesigns.RootsvacuumpumpworkswiththeRootsblowersimilar.Duetothecontinuousrotationoftherotor，gasisdrawnfromtheintakeportintothespacebetweentherotorandthecasing，andthendischargedthroughtheexhaustport.Becausethespaceisclosedsuction

7、state，sothereisnogasinthepumpchambercompressionandexpansion.However，whenthetopedgeoftheexhaustportoftherotorrotated，thespacecommunicateswiththeexhaustside，thehighertheexhaust-sidegaspressure，aportionofthewashedgasbacktothespace，thegaspressureisabruptlyin

8、creased.Astherotorcontinuestorotate，thegasdischargepump.KeyWords:VacuumCoatingEquipment;Vacuumpump;StructuredesignIII卷绕式真空镀膜机真空泵结构设计目录摘要IAbstractII目录III第1章绪论11.1真空镀膜机的概述11.2真空泵的应用现状及发展趋势31.3课题设计内容12第2章真空泵总体方案设计132.1设计真空泵的技