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时间：2021-11-22
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1、透射电子显微镜Transmissionelectronmicroscope2.透射电子显微镜TEM电子光学应用的最典型例子是TEM，它是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。TEM用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。PhilipsCM12透射电镜加速电压20、40、60、80、100、120KV LaB6或W灯丝 晶格分辨率2.04Å点分辨率3.4Å最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度β=±25度CEISS902电镜加速电压50、80KV W灯丝 顶插式样品台 能量
2、分辨率1.5ev倾转角度α=±60度加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率1.94ÅJEM-2010透射电镜加速电压20、40、60、80、100、120KV晶格分辨率2.04Å点分辨率3.4Å最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度β=±30度EM420透射电子显微镜分辨率：0.34nm加速电压：75－200KV放大倍数：25万倍日立H－700电子显微镜JEM-2010透射电镜加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率1.94Å2.1结构TEM是高分辨本领、高M的电子光学仪器。由电子光学系统、电源系统、真空系统和操作控制系统组成。电子光学系统分为照明、成像及观
3、察纪录、辅助系统。高压系统真空系统控制系统观察和记录系统2.1.1照明系统作用是提供光源（控制其稳定度、照明强度和照明孔径角）；选择照明方式（明场或暗场成像）。（1）阴极又称灯丝，一般由0.03~0.1mm钨丝作成V或Y形状。（2）阳极加速从阴极发射出的电子。为了操作安全，一般是阳极接地，阴极带有负高压。-50~200kV（3）控制极会聚电子束；控制电子束电流大小，调节像的亮度。阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，习惯通称为“电子枪”。电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。(4)聚光镜由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电
4、子束穿过阳极后，逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜有增强电子束密度和再次将发散的电子会聚起来的作用。多为磁透镜，调节其电流控制照明亮度、照明孔径角和束斑大小。阴极控制极阳极电子束聚光镜试样聚光镜高性能TEM采用双聚光镜系统，提高照明效果。2.1.2成像系统物镜、中间镜和投影镜与样品室构成，作用是安置样品、放大成像。（1）物镜成一次像。决定透射电镜的分辨本领，要求它有尽可能高的分辨本领、足够高的放大倍数和尽可能小的像差。（1）物镜通常采用强激磁，短焦距的物镜。放大倍数较高，一般为100～300倍。目前高质量物镜分辨率可达0.1nm左右。（2）中间镜成二次像。弱激磁的长
5、焦距变倍透镜，0～20倍可调。（3）投影镜短焦距强磁透镜，最后一级放大像，最终显示到荧光屏上，
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