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时间：2021-12-08
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1、分类号：TN249单位代码：10183研究生学号：2013512050密级：公开吉林大学硕士学位论文（学术学位）飞秒激光湿法刻蚀硅基微纳结构Silicon-basedmicro-nanostructuresfabricatedbyfemtosecondlaserandwetetching作者姓名：马云程专业：微电子学与固体电子学研究方向：激光微纳加工指导教师：陈岐岱教授培养单位：电子科学与工程学院2016年6月――――――――――――――――――――――――――――――――飞秒激光湿法刻蚀硅基微纳结构――――――――――――――――――――――――――――――――Sili
2、con-basedmicro-nanostructuresfabricatedbyfemtosecondlaserandwetetching作者姓名：马云程专业名称：微电子学与固体电子学指导教师：陈岐岱教授学位类别：学术硕士答辩日期：2016年5月31日未经本论文作者的书面授权，化法收存和保管本论文书面版本、电子版本的任何单位和个人，均不得对本论文的全部或部分内容进行任何形式的复制、、修改、发行、出租改编等有碍作者著作权的商业性使用（但纯学术性使用不在此限）。否则，应承担侵权的法律责任。吉林大学硕±学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交学位论文，是
3、本人在指导教师的指导下，独立进行研巧工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研巧做出重要贡献的个人巧集体，均已在文中明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：马云程日期：２０１６年６月１日飞秒激光湿法刻蚀硅基微纳结构摘要微机电系统（MEMS）是结合微电子技术与微加工技术发展起来的新技术，凭借其微型化、集成化、多样化的显著优势，在工业、军事、医学等多领域都展现出巨大的应用价值。而MEMS主要加工材料为优良的半导体材料硅，因为硅是良好的传感器材料
4、，具有理想的弹性与导热性，并且稳定性能极好，适用于多种复杂环境，更重要的是硅的半导体特性，易于集成化，迎合了科技发展的需求。因此，硅基微纳结构的制备技术就显得尤为重要。传统的硅基微纳结构制备技术包括表面微加工技术、体微加工技术、LIGA技术等，但上述技术的工序较为复杂，需要多次的淀积牺牲层和刻蚀工艺，并且需要整体布局，灵活性较差。所以我们需要寻求一种简便灵活的硅基微纳结构制备技术。飞秒激光微纳加工技术对于高精度、高分辨率的复杂三维微纳结构的制备有着独特的优势，但由于硅材料对紫外-可见-近红外波段的光有很强的吸收，并且存在明显的反射，所以激光很难进入到硅内部进行
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