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1、沁声书认掌硕士学位论文论文题目作者姓名刘旭指导教师一杨函英`教授学科专业一光学工所在学院…信息学院,提交日期二零零八年五月浙江大学硕士论文摘要利用子孔径扫描拼接实现大口径光学元件表面疵病的高精度数字化评价,是系统中光学元件检测的主要环节。为实现大口径光学元件表面疵病的高精度检测,本文分析了大口径光学元件表面疵病检测扫描拼接的各种误差,提出了相应的减小全孔径拼接误差的方法,成功地实现全孔径的正确拼接,从而为大口径光学元件表面疵病的正确评定打下坚实的基础。全孔径拼接错位的主要误差源有扫描系统的定位误差、扫描系统导轨的垂直度误差以
2、及坐标与扫描轨迹坐标间存在夹角。针对这些误差,论文建立了误差分析的数学模型,从理论上计算了对称误差和非对称误差的累积误差的期望值,为进一步认识这些误差对全孔径拼接的影响奠定基础。本文重点分析了影响全孔径拼接最敏感的误差源一气二坐标与扫描轨迹坐标间存在夹角,创新性地建立了计算两坐标系间夹角大小的数学模型,推导出计算两坐标系夹角的计算公式,提出一种全新的高精度测量两坐标系间夹角的方法,构建了高精度的旋转系统,提出根据所测量的两坐标系夹角大小利用旋转系统的调整,将两坐标系间夹角减小至最大容差以内,确保全孔径的正确拼接。根据定位误差
3、的随机性、对称性的特点,本文提出通过沿扫描路径拼接以减小拼接误差。导轨的垂直度误差属系统误差,其在全孔径的拼接过程中体现出非对称性,要减小这种误差可以通过测量导轨垂直度,再利用软件补偿给予减小。编写了功能完善的大口径光学元件表面疵病自动检测程序。该程序包括进行标准比对的定标采集模块、子孔径扫描采集模块以及坐标与扫描轨迹坐标间夹角的自动调整模块。该程序的使用使系统能自动完成任意子孔径的扫描,为实现大口径光学元件自动化检测奠定了基础。关键词表面缺陷检测表面散射子孔径拼接误差分析大口径光学元件浙江大学硕卜论文一,,,一,一即,,,
4、一,一,,一一,一,一,甜一浙江大学硕一论文目录第一章绪论…”……“…”二”。””””……“““““”……“…””……“”…“……””精密表面缺陷概述……光学元件加工特点……光学元件表面疵病检测标准……,……,……论文的主要研究内容……参考文献……第二章大口径光学元件表面疵病检测系统”“”“““””””“””“””“““““”““国内外光学元件疵病主要检测方法与分析……大口径光学元件表面疵病检测系统设计……表面疵病检测的照明系统……光学成像系
