海德汉直线光栅尺技术参数(heidenhain)

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1、敞开式直线光栅尺2007年5月敞开式直线光栅尺直线光栅尺测量直线轴位置时不存在任何敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测机械结构附加的机械传动元件。因此，它能消除以量的机床和系统。典型应用包括：敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅下潜在误差源：•半导体工业的测量和生产设备尺和扫描头，光栅尺和扫描头间无机械•PCB电路板组装机接触。•由于滚珠丝杠温度特性导致的位置误差•超精密机床，例如加工光学元件的金刚•反向误差石刀具车床，加工磁盘的端面车床和加敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安•滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差工铁氧体元件的磨床装面上。安装面的平面度直接影响直线光

2、•高精度机床栅尺精度。因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高•测量机和比较仪，测量显微镜和其它精速加工不可或缺的必备条件。密测量设备•直接驱动其它样本还有•带内置轴承角度编码器•无内置轴承角度编码器本样本是以前样本的替代版，所有以前•旋转编码器版本均不再有效。订购HEIDENHAIN公•伺服驱动用编码器司的产品仅以订购时有效的样本为准。•NC数控机床用直线光栅尺•接口电子设备有关相应的适用标准（ISO，EN等），•HEIDENHAIN数控系统请见样本中的特别标注。欢迎索取，或访问www.heidenhain.com.cn。目录概要敞开式直线光栅尺2选型指南4技术特点测

3、量原理测量基准6增量测量法7光电扫描8测量精度10可靠性12机械结构类型和装配14一般机械信息17技术参数高精度LIP300系列18LIP400系列20LIP500系列22LIF400系列24高速运动应用LIDA4x3系列26LIDA4x5系列28LIDA4x7系列30LIDA200系列32安装空间有限应用LIDA500系列34二维测量PP系列36电气连接接口增量信号»1VPP38增量信号«TTL40限位开关42位置检测43电气连接44信号处理电子设备45连接件和电缆46一般电气技术参数48HEIDENHAIN测量和测试设备50选型指南截面精度等级信号周期1)LIP

4、系列敞开式直线光栅尺测量步距小、精LIP系列超高精度光栅尺±0.5μm0.128μm度高和重复性好。它采用玻璃陶瓷或玻璃•玻璃陶瓷或玻璃光栅尺（可按需提供更高精度等级）基体的DIADUR相位光栅作测量基准。•干涉扫描，信号周期小±1μm2μmLIP4x1R±0.5μm（可按需提供更高精度等级）±1μm4μmLIF系列敞开式直线光栅尺采用玻璃基体的LIF系列高精度光栅尺±3μm4μmDIADUR或SUPRDAUR光栅作测量基准。•带PRECIMET粘膜胶带它具有精度高和重复性好特点，并且安装•干涉扫描，信号周期小非常容易。•限位开关和回零轨LIDA系列直线光栅尺非常适

5、用于运动速度LIDA系列可选不同热膨胀系数的基体±5μm20μm达10m/s的高速运动应用，它还支持多种•支持用不同的光栅尺基体选择线性（可按需提供更高精度等安装方式。根据不用应用要求，热膨胀系数级）AURODUR或METALLUR光栅的基体可为•限位开关钢带，玻璃或玻璃陶瓷。LIDA系列用于高速运动和大测量范围±5μm20μm•钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在安装面上。•LIDA400型带限位开关±15μm20μm±30μm200μm±30μm200μmLIDA系列光栅尺用于狭小安装空间±5μm20μm•小型扫描头小•安装简单P

6、P系列双坐标光栅尺采用平面二维相位光PP系列二维光栅尺±2μm4μm栅作测量基准，是玻璃基体的DIADUR光•二维共同扫描点栅。因此它能测量平面中的位置。•干涉扫描，信号周期小1)正弦信号周期。它决定一个信号周期内的偏差（参见“测量精度”）。4测量长度基体和安装方式接口型号页概要概要70mm至Zerodur玻璃陶瓷基«TTLLIP37218270mm体，嵌入在螺栓固定的不胀钢基座上»1VPPLIP382LIP38210mm至Zerodur玻璃陶瓷或玻«TTLLIP47120420mm璃基体，通过螺栓固定在安装架上»1VPPLIP48170mm至玻璃光栅尺，通过螺«T

7、TLLIP57122LIP5811440mm栓固定在安装架上»1VPPLIP58170mm至玻璃光栅尺，通过«TTLLIF471241020mmPRECIMET粘膜固定»1VPPLIF481LIF481240mm至玻璃或玻璃陶瓷光栅«TTLLIDA473263040mm尺粘贴在安装面上»1VPPLIDA483LIDA485140mm至钢带光栅尺，穿入在«TTLLIDA4752830040mm铝壳中并预紧»1VPPLIDA485240mm至钢带光栅尺，穿入在«TTLLIDA477306040mm铝铝壳中，中间固定LIDA279«1VPPLIDA487最大至钢带光栅